特許

J-GLOBAL ID：201303073992622135

表面欠陥検査装置

発明者： 大森 健雄 ,  深澤 和彦
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 大西 正悟
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-210905
公開番号（公開出願番号）：特開2003-028621
特許番号：特許第5288672号
出願日： 2001年07月11日
公開日（公表日）： 2003年01月29日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 被検物体の被検面に検査用照明光を照射する照明ユニットと、前記照明ユニットによる前記検査用照明光の照射を受けて前記被検面から出射される散乱光を受光する受光ユニットとを有して構成され、 前記照明ユニットによる前記検査用照明光の照射を受けて前記被検面から反射される正反射光の出射光軸が、前記被検面の法線に対してなす角度を出射角θoとし、前記正反射光の開口角をδθoとし、前記正反射光の出射光軸から前記受光ユニットの光軸を見込む角度をθrとし、前記受光ユニットの開口角をδθrとしたときに、 δθo < (θr-δθr) θr ≦ 10度 θo ≦ 60度 に設定されていることを特徴とする被検物体の表面欠陥検査装置。

IPC (3件)：

G01B 11/30 ( 200 6.01) ,  G01N 21/956 ( 200 6.01) ,  H01L 21/66 ( 200 6.01)

FI (3件)：

G01B 11/30 A ,  G01N 21/956 A ,  H01L 21/66 J

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 欠陥検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-184881   出願人：株式会社ニデック
• 表面検査装置および方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-056693   出願人：株式会社ニコン