硬質皮膜被覆部材およびその製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：大川浩一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-056101
公開番号（公開出願番号）：特開2013-189674
出願日： 2012年03月13日
公開日（公表日）： 2013年09月26日
要約：

【課題】ヤング率(縦弾性係数)が低く、熱衝撃性に優れた硬質皮膜で基材が被覆された硬質皮膜被覆部材およびその製造方法を提供する。【解決手段】NとCとBとSiからなる硬質皮膜が基材上に形成された硬質皮膜被覆部材において、硬質皮膜のビッカース硬さHVが800以上、好ましくは1000以上であり、且つヤング率(縦弾性係数)が100GPa以下、好ましくは95GPa以下であり、スクラッチ強度が好ましくは40N以上である。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

NとCとBとSiからなる硬質皮膜が基材上に形成され、前記硬質皮膜のビッカース硬さHVが800以上であり且つ縦弾性係数が100GPa以下であることを特徴とする、硬質皮膜被覆部材。

IPC (2件)：

C23C 16/38 , C23C 16/50

FI (2件)：

C23C16/38 , C23C16/50

Fターム (15件)：

3C046FF09 , 4E050JA01 , 4E050JB09 , 4K030AA01 , 4K030AA06 , 4K030AA10 , 4K030AA17 , 4K030BA39 , 4K030BA49 , 4K030CA02 , 4K030CA11 , 4K030FA01 , 4K030JA09 , 4K030JA10 , 4K030LA23

引用特許：

審査官引用 (7件)

ハードマスク材料
公報種別：公開公報出願番号：特願2010-256165 出願人：ノベルス・システムズ・インコーポレーテッド
硬質被膜で締結摺動面を被覆した締結治具部材、締結治具部材を装着した締結物体及び締結治具部材の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-095207 出願人：財団法人理工学振興会
多層皮膜被覆部材及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-320235 出願人：日立ツール株式会社

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