特許
J-GLOBAL ID:201303077874128750

低汚染性接着シ-ト類とレジスト材の除去方法

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-011094
公開番号(公開出願番号):特開2001-055546
特許番号:特許第4859005号
出願日: 2000年01月20日
公開日(公表日): 2001年02月27日
請求項(抜粋):
【請求項1】 フィルム基材上に感圧接着性ポリマーを主成分として含む接着剤層が設けられてなる接着シート類において、上記感圧接着性ポリマーには、感圧接着性ポリマーに起因するオリゴマー状の分子量5,000以下の低分子量体が、GPC(ゲルパーミエーシヨンクロマトグラフイ)法により得られた分子量分布曲線より実質的に含まれていないことを特徴とする低汚染性接着シート類。
IPC (3件):
C09J 7/02 ( 200 6.01) ,  G03F 7/42 ( 200 6.01) ,  H01L 21/027 ( 200 6.01)
FI (3件):
C09J 7/02 Z ,  G03F 7/42 ,  H01L 21/30 572 Z
引用特許:
審査官引用 (6件)
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