特許
J-GLOBAL ID:201303078091809203
塩、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
特許業務法人深見特許事務所
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2012-229815
公開番号(公開出願番号):特開2013-126968
出願日: 2012年10月17日
公開日(公表日): 2013年06月27日
要約:
【課題】レジストパターンの形状が満足できるレジスト組成物の提供。【解決手段】式(I)で表される塩。[式(I)中、Q1及びQ2は、独立にフッ素原子又はペルフルオロアルキル基を表す。L1及びL2は、独立に2価の飽和炭化水素基等を表す。環W1は、芳香族環を表す。環W2は、スルトン環を表す。R1は、ヒドロキシ基又はアルキル基を表す。R2は、アルキル基、アルコキシ基又はアルコキシカルボニル基を表す。s及びtは、0〜2の整数を表す。Z+は、有機対イオンを表す。]【選択図】なし
請求項(抜粋):
式(I)で表される塩。
IPC (6件):
C07D 327/04
, G03F 7/004
, G03F 7/039
, C07C 381/12
, C09K 3/00
, H01L 21/027
FI (7件):
C07D327/04
, G03F7/004 501
, G03F7/004 503A
, G03F7/039 601
, C07C381/12
, C09K3/00 K
, H01L21/30 502R
Fターム (23件):
2H125AF17P
, 2H125AF18P
, 2H125AF38P
, 2H125AH17
, 2H125AJ14Y
, 2H125AJ48Y
, 2H125AJ65Y
, 2H125AJ69Y
, 2H125AN38P
, 2H125AN39P
, 2H125AN54P
, 2H125AN67P
, 2H125BA02P
, 2H125BA26P
, 2H125CA12
, 2H125CB12
, 2H125CB16
, 2H125CC03
, 2H125CC15
, 4C023AA01
, 4H006AA01
, 4H006AA03
, 4H006AB76
引用特許:
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