特許
J-GLOBAL ID：201303078964517778
プローブによって試料を走査する方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
伊東 忠重
, 伊東 忠彦
, 大貫 進介
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-230758
公開番号（公開出願番号）：特開2013-089601
出願日： 2012年10月18日
公開日（公表日）： 2013年05月13日
要約：
【課題】フレーム周期よりはるかに早い周波数の機械振動や電磁場変動などの外乱ノイズの障害を簡易な方法により抑制する。【解決手段】2つの走査パターンについて、回転、シフト、或いは重み付け因子を用いて走査位置の調整により、各々がある角度をなすように交差し、複数の交差点群を構成するようにした上で、上記交差点群について、メモリを用いて画像データを重畳積算する。解像度を満たすために交差点以外の座標については内挿/外挿されたデータで埋めることも出来る。前記2つの走査パターンのうちの一の走査パターンに係る線は、前記2つの走査パターンのうちの他の走査パターンに係る線と垂直であることが好ましい。それにより一の走査パターンの1本の線上での複数の走査点の時間的コヒーレンスを利用して、他の走査パターンのラインの位置合わせ及びその逆が可能となる。【選択図】図8
請求項（抜粋）：
プローブによって試料を走査する方法であって、
少なくとも2つの走査パターンを用いて前記試料を走査する手順、
前記少なくとも2つの走査パターンのうちの第1走査パターンで前記試料を走査する一方で、前記走査の結果得られたデータを順次取得し、前記の取得されたデータを、前記第1走査パターンに係る第1メモリ領域内でマッピングする手順であって、前記メモリ領域は、各々が名目上の走査位置(x,y)に関連する複数のメモリ位置を有する、手順、
前記少なくとも2つの走査パターンのうちの第2走査パターンで前記試料を走査する一方で、前記走査の結果得られたデータを順次取得し、前記の取得されたデータを、前記第2走査パターンに係る第2メモリ領域内でマッピングする手順であって、前記メモリ領域は、各々が名目上の走査位置(u,v)に関連する複数のメモリ位置を有する、手順、
前記第1メモリ領域からのデータと前記第2メモリ領域からのデータとを結合することによって改善された像を生成し、前記改善された像に係るメモリ領域内で前記の結合されたデータをマッピングする手順であって、前記改善された像に係るメモリ領域の各点は名目上の走査位置に関連する、手順、
を有し、
前記少なくとも2つの走査パターンは、複数の交差点からなる組を有し、前記複数の交差点では、前記2つの走査パターンがある角度をなすように交差し、前記交差点は、名目上の走査位置とは必ずしも一致せず、前記交差点の組から交差点の群Cが選ばれ、
前記第1走査中に取得される各名目上の走査位置(x,y)の位置が調節され、かつ、第2走査中に取得される各名目上の走査位置(u,v)の位置が調節されることで、交差点の新たな組と交差点Cの新たな群が定められ、それにより新たに定められた交差点での実際のデータ又は補間されたデータの相似性が改善され、
各名目上の走査位置は、他の走査位置を、前記名目上の走査位置と前記他の走査位置との間での時間的コヒーレンスの関数である重み付け因子を用いて調節され、
前記の調節された名目上の走査位置(x,y)は、前記第1メモリ領域のデータを、改善された像の1つ以上のメモリ位置へマッピングするのに用いられ、かつ、前記の調節された名目上の走査位置(u,v)は、前記第2メモリ領域のデータを、前記改善された像の1つ以上のメモリ位置へマッピングするのに用いられる、
ことを特徴とする方法。
IPC (3件)：
H01J 37/22
, H01J 37/147
, G02B 21/00
H01J37/22 502H
, H01J37/147 B
, H01J37/147 Z
, H01J37/147 D
, H01J37/147 E
, G02B21/00
2H052AA07
, 2H052AC15
, 2H052AF06
, 2H052AF14
, 2H052AF21
, 2H052AF25
, 5C033FF03
, 5C033FF05
, 5C033FF06
