特許
J-GLOBAL ID：201303081452157258
形状測定方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
小栗 昌平
, 橋本 公秀
, 市川 利光
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-168154
公開番号（公開出願番号）：特開2002-357415
特許番号：特許第4794753号
出願日： 2001年06月04日
公開日（公表日）： 2002年12月13日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 被測定物の測定面に、先端に曲率半径が10μm未満の探針を備えたプローブを追従させて、前記被測定物の表面形状を測定する形状測定方法であって、
校正の基準となる基準球の測定面に前記プローブを追従させて前記基準球の測定面を測定することにより前記基準球の中心出しを行い、前記基準球の中心出しを行った後、前記基準球の測定面を測定し、前記基準球の測定データに対して、前記基準球と前記探針との接触位置を求め、その接触位置における測定面の傾斜角から前記探針の曲率半径による位置誤差を補正し、前記補正された前記基準球の測定データを座標変換して前記基準球の設計式と重ね合わせを行い、前記座標変換後の補正された前記基準球の測定データと前記基準球の設計式との形状誤差量を算出し、前記探針の前記基準球との接触位置における測定面の傾斜角を用いて、この探針の接触位置に対応する前記基準球測定時の基準球上の位置を特定し、この特定された基準球上の位置における前記基準球測定時の前記形状誤差量を前記探針の接触位置における形状誤差量として記憶し、
前記被測定物の測定面に前記プローブを追従させて前記被測定物の測定面を測定することにより前記被測定物の中心出しを行い、前記被測定物の中心出しを行った後、前記被測定物の測定面を測定し、前記被測定物の測定データに対して、前記被測定物と前記探針との接触位置を求め、その接触位置における測定面の傾斜角から前記探針の曲率半径による位置誤差を補正し、前記探針の曲率半径による位置誤差を補正された前記被測定物の測定データに対して、接触位置における測定面の傾斜角に対応した、前記形状誤差量を加算または減算して前記探針の曲率半径からの形状誤差を補正し、前記形状誤差を補正された前記被測定物の測定データを座標変換して前記被測定物の設計式と重ね合わせを行い、前記補正された被測定物の測定データと設計式との形状誤差量を算出することを特徴とする形状測定方法。
IPC (4件)：
G01B 5/00 ( 200 6.01)
, G01B 5/20 ( 200 6.01)
, G01B 21/20 ( 200 6.01)
, G01B 21/00 ( 200 6.01)
G01B 5/00 P
, G01B 5/20 C
, G01B 21/20 101
, G01B 21/00 P
