特許
J-GLOBAL ID：201303082938896300
板状製品の湿式化学処理用装置及び方法と、上記装置内に流量部材を取り付けるための方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
藤田 アキラ
, 今井 秀樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-078374
公開番号（公開出願番号）：特開2013-174016
出願日： 2013年04月04日
公開日（公表日）： 2013年09月05日
要約：
【課題】板状製品の表面に渡って均一な流れを確保できる湿式化学処理装置と方法を提供する。【解決手段】各々少なくとも一つのパドル様流量要素155を備える少なくとも一つの流量部材150を有しており、少なくとも一つの流量部材155は、製品Wの表面と向かい合った位置に置かれ、且つ製品Wの表面に実質的に平行に移動可能である。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
板状製品(W)の湿式化学処理用装置であって、上記板状製品(W)は上記装置(100)内に置かれており、各々少なくとも一つのパドル様流量要素(155)を備えた少なくとも流量部材(150)を備えて構成される装置(100)であって、
少なくとも一つの流量部材(150)が、板状製品(W)の表面と向かい合った位置に置かれ、且つ板状製品(W)の表面とおおむね平行に移動可能である、装置において、
流量部材(150)は、板状製品(W)の両側に配置され、流量部材(150)のパドル様流量要素(155)は、板状製品(W)の両側に面して互いに喰い違うように置かれることを特徴とする、装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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