特許

J-GLOBAL ID：201303083011800280

多軸ステージ機器を制御する装置及び方法

発明者： ナム・ヒボム
出願人/特許権者： スンハン・エンジニアリング・コーポレイション
代理人 (5件)： 江崎 光史 ,  鍛冶澤 實 ,  今村 良太 ,  篠原 淳司 ,  清田 栄章
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-026488
公開番号（公開出願番号）：特開2013-166240
出願日： 2013年02月14日
公開日（公表日）： 2013年08月29日
要約：

【課題】 多軸ステージ機器を制御する装置及び方法を提供する。【解決手段】 多軸ステージ機器を制御する装置は、複数の軸とそれらの複数の軸により傾斜されるステージとを備え、複数の軸の各々をマスター軸として順次指定する一方、マスター軸として指定されなかった軸をスレーブ軸として指定する軸指定部と、指定されたマスター軸を基準位置である原点に戻す一方、マスター軸の原点への戻しを完了するまで、スレーブ軸をマスター軸と一緒に動かす制御部とを備えている。本発明によって、制御の精度を向上するとともに、時間とコストを節約することが可能である。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

複数の軸とそれらの複数の軸により傾斜されるステージとを備えたステージ機器を制御する装置において、 前記の複数の軸の各々をマスター軸として順次指定するとともに、マスター軸として指定されなかった軸をスレーブ軸として指定する軸指定部と、 前記の指定されたマスター軸を基準位置である原点に戻す一方、前記のマスター軸の原点への戻しを完了するまで、前記のスレーブ軸を前記のマスター軸と一緒に動かす制御部と、 を備えた、ステージ機器を制御する装置。

IPC (4件)：

B23Q 15/00 ,  G05B 19/18 ,  G05D 3/00 ,  G05D 3/12

FI (4件)：

B23Q15/00 309B ,  G05B19/18 A ,  G05D3/00 Q ,  G05D3/12 X

Fターム (8件)：

3C269AB27 ,  3C269CC01 ,  3C269DD01 ,  3C269EF88 ,  5H303AA06 ,  5H303BB08 ,  5H303BB11 ,  5H303DD01

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 位置決め制御装置及び位置決め制御装置の原点復帰方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-329921   出願人：ソニー株式会社
• 数値制御装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-156957   出願人：ファナック株式会社