特許
J-GLOBAL ID：201303083748032151
輪郭形状測定方法及び輪郭形状測定装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
須田 篤
, 楠 修二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-272901
公開番号（公開出願番号）：特開2013-124889
出願日： 2011年12月14日
公開日（公表日）： 2013年06月24日
要約：
【課題】光ビームで測定対象物の輪郭を走査することで、光検出器で検出した光ビームの光量変化から、工作機械に用いられる加工工具などの測定対象物の輪郭形状を精度良く測定することができる輪郭形状測定方法及び輪郭形状測定装置を提供する。【解決手段】測定装置において、光源20から発せられる光について、光のビーム範囲B内に測定対象(工具など)およびその輪郭Tを挿入する。そして、測定対象およびその輪郭Tもしくは光のビームを、X、Z方向に移動させながら、光検出器21でレーザー光の光量を検出して得られた光量変化をもとに、測定対象およびその輪郭Tを正確に測定・評価する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
工作機械に用いられる加工工具などの輪郭形状測定方法であって、
測定対象物の輪郭部を照射する微小径の光ビームと、前記輪郭部を通過する光量を検出する光検出器とを有し、
前記測定対象物の既知の形状を基準輪郭形状とし、前記光ビームの中心が前記基準輪郭形状に沿って移動したときに、前記基準輪郭形状の曲率半径と前記光ビームの断面半径と前記光ビーム内の光強度分布とから、前記光検出器で検出される基準通過光量を算出する基準通過光量算出ステップと、
前記光ビームが前記測定対象物の輪郭を横切るように輪郭の近傍をスキャンして、前記光検出器で得られた各々の光ビーム位置での通過光量が前記基準通過光量になる点をつないで、前記測定対象物の推定輪郭形状を算出する輪郭形状算出ステップと、
前記基準輪郭形状を前記推定輪郭形状で置き換え、前記基準通過光量の修正値を算出し、前記光検出器で得られた通過光量が修正された基準通過光量になる点をつないでより真の形状に近い修正輪郭形状を算出し、それを繰り返すことによって、前記修正輪郭形状を真の輪郭形状に収束させるための輪郭形状修正ステップと、
を備えることを特徴とする輪郭形状測定方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01B11/24 Z
, B23Q17/24 Z
2F065AA52
, 2F065BB05
, 2F065CC10
, 2F065DD03
, 2F065DD12
, 2F065FF02
, 2F065FF67
, 2F065GG02
, 2F065GG04
, 2F065GG07
, 2F065HH04
, 2F065JJ01
, 2F065JJ15
, 2F065LL04
, 2F065LL30
, 2F065MM02
, 2F065MM03
, 2F065MM04
, 2F065PP11
, 2F065PP12
, 2F065PP13
, 2F065QQ01
, 2F065QQ03
, 2F065QQ17
, 2F065QQ21
, 3C029EE20
