除電除塵装置と除電除塵方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：平木祐輔 , 関谷三男 , 石川滝治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-177683
公開番号（公開出願番号）：特開2013-041744
出願日： 2011年08月15日
公開日（公表日）： 2013年02月28日
要約：

【課題】エアシャワー室を設けた場合の高価な設備費とクリーンルーム内の作業効率の低下といった課題を解消でき、しかも被クリーン対象に付着した帯電粒子の除電除塵効果と除電除塵効率の極めて高い除電除塵装置と除電除塵方法を提供する。【解決手段】被クリーン対象に付着した帯電粒子p1を除電除塵する除電除塵装置10であって、空気塊を生成する空気砲3とイオナイザ2が一体に構成され、イオナイザ2でイオンを生成した後に空気砲3で空気塊を生成し、この空気塊でイオンを吹き飛ばすように制御されており、吹き飛ばされたイオンが帯電粒子p1を除電して無帯電粒子p2とし、空気塊でこの無帯電粒子p2を吹き飛ばして除塵するものである。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

被クリーン対象に付着した帯電粒子を除電除塵する装置であって、空気塊を生成する空気砲とイオナイザが一体に構成され、イオナイザでイオンを生成した後に空気砲で空気塊を生成し、この空気塊でイオンを吹き飛ばすように制御されており、吹き飛ばされたイオンが帯電粒子を除電して無帯電粒子とし、空気塊でこの無帯電粒子を吹き飛ばして除塵する除電除塵装置。

IPC (3件)：

H05F 3/04 , H01T 23/00 , H05F 3/06

FI (3件)：

H05F3/04 , H01T23/00 , H05F3/06

Fターム (4件)：

5G067AA02 , 5G067AA33 , 5G067DA22 , 5G067DA24

引用特許：

出願人引用 (4件)

除塵装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-171351 出願人：ヒムエレクトロ株式会社
空気振動発生方法とその装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-112991 出願人：多田浩司
イオン放出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2008-134492 出願人：シャープ株式会社

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審査官引用 (4件)

除塵装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-171351 出願人：ヒムエレクトロ株式会社
空気振動発生方法とその装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-112991 出願人：多田浩司
イオン放出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2008-134492 出願人：シャープ株式会社

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