特許
J-GLOBAL ID:201303084154460028

脆性材料基板ブレイク装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 岡本 宜喜
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2011-184297
公開番号(公開出願番号):特開2013-043414
出願日: 2011年08月26日
公開日(公表日): 2013年03月04日
要約:
【課題】基板をスクライブラインから垂直にブレイクすることが可能な脆性材料基板ブレイク装置を提供すること。【解決手段】微小間隔移動自在となるよう設置された一対の支持部材53A,53Bの上方に、受け刃54A,54Bを回動自在として固定しておく。受け刃を閉じてその位置をスクライブライン43に合わせて基板40を配置し、上部からブレード23によって基板40を押圧する。そうすれば受け刃は互いに逆方向に回動し、基板40をスクライブラインに垂直の断面でブレイクすることができる。【選択図】図7
請求項(抜粋):
スクライブラインが形成された脆性材料の基板に力を加えることによって、前記スクライブラインに沿ってブレイクする脆性材料基板ブレイク装置であって、 夫々の上面と対向面によって構成される夫々の稜線を平行として相対向するように配置され、上面に前記基板が載置される一対の受け刃と、 前記一対の受け刃を、前記基板との当接面とは逆側の面から夫々支持する一対の支持部材と、 前記一対の受け刃の対向する前縁が一致して中心線となる接近位置と、前記接近位置から離隔した離隔位置との間を移動可能となるように、前記一対の支持部材を互いに逆方向に平行移動させる開閉機構と、 前記基板のスクライブラインが形成された側の裏面にて、前記スクライブラインの背面に沿って線状に当接するブレードと、 前記一対の受け刃に対して前記ブレードが接近するように相対移動させて、基板の面に垂直に力を印加するブレード駆動手段と、を具備し、 前記一対の支持部材は、 夫々上面で前記受け刃を基板の面に垂直方向に微小距離だけ移動可能となるよう弾性的に保持するものである脆性材料基板ブレイク装置。
IPC (3件):
B28D 5/00 ,  H01L 21/301 ,  C03B 33/023
FI (3件):
B28D5/00 Z ,  H01L21/78 T ,  C03B33/023
Fターム (10件):
3C069AA02 ,  3C069BB01 ,  3C069CA03 ,  3C069CA05 ,  3C069CA06 ,  3C069CA11 ,  3C069CB01 ,  4G015FA02 ,  4G015FB01 ,  4G015FC02
引用特許:
審査官引用 (4件)
  • 基板切断装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平8-000920   出願人:双葉電子工業株式会社
  • 特開昭61-215008
  • 基板割断装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願2009-151854   出願人:株式会社レーザーソリューションズ
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