特許
J-GLOBAL ID:201303085322746494

ショットキーダイオード及びその製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (4件): 村山 靖彦 ,  志賀 正武 ,  渡邊 隆 ,  実広 信哉
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2012-004955
公開番号(公開出願番号):特開2013-033899
出願日: 2012年01月13日
公開日(公表日): 2013年02月14日
要約:
【課題】本発明は、ショットキーダイオード及びその製造方法に関するものである。【解決手段】本発明のショットキーダイオードは、第一金属層と、半導体層と、第二金属層と、を含む。前記第一金属層及び前記第二金属層は、相互に間隔をあけて設置され、それぞれ前記半導体層に電気的に接続されている。前記第一金属層と、前記半導体層との接合方式は、ショットキー接触である。前記第二金属層と、前記半導体層との接合方式は、オーミック接触である。前記半導体層は、高分子絶縁材料及び該高分子絶縁材料に分散した複数のカーボンナノチューブからなる。【選択図】図1
請求項(抜粋):
第一金属層と、半導体層と、第二金属層と、を含むショットキーダイオードにおいて、 前記第一金属層及び前記第二金属層は、相互に間隔をあけて設置され、それぞれ前記半導体層に電気的に接続され、 前記第一金属層と、前記半導体層との接合方式は、ショットキー接触であり、 前記第二金属層と、前記半導体層との接合方式は、オーミック接触であり、 前記半導体層は、高分子絶縁材料及び該高分子絶縁材料に分散した複数のカーボンナノチューブからなることを特徴とするショットキーダイオード。
IPC (3件):
H01L 29/47 ,  H01L 29/872 ,  H01L 21/329
FI (2件):
H01L29/48 D ,  H01L29/48 P
Fターム (10件):
4M104AA10 ,  4M104BB02 ,  4M104BB04 ,  4M104BB06 ,  4M104BB07 ,  4M104BB08 ,  4M104BB09 ,  4M104CC03 ,  4M104GG03 ,  4M104HH20
引用特許:
審査官引用 (7件)
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