特許
J-GLOBAL ID：201303085479694889

蒸着用坩堝及び蒸着装置並びに蒸着方法

発明者：
垣内 良平

垣内 良平 について

, 
山本 悟

山本 悟 について


出願人/特許権者：
日東電工株式会社

日東電工株式会社 について


代理人 (2件)： 藤本 昇 ,  薬丸 誠一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-027451
公開番号（公開出願番号）：特開2013-163845
出願日： 2012年02月10日
公開日（公表日）： 2013年08月22日
要約：
【課題】 近接蒸着による蒸着において、センサによって成膜レートを検出可能な蒸着用坩堝及び蒸着装置並びに蒸着方法を提供する。【解決手段】 本発明に係る坩堝4は、蒸着源3を収容する収容部11と、蒸着源3から放出される気化材料を被処理基板2に向けて案内する第1の案内通路12と、第1の案内通路12を区画するための壁部21〜23と、第1の案内通路12の中途部から分岐するとともに該壁部21〜23を貫通して外部に連通する第2の案内通路14とを有する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
蒸着源を収容する収容部と、蒸着源から放出される気化材料を被処理基板に向けて案内する第1の案内通路と、第1の案内通路を区画するための壁部と、第1の案内通路の中途部から分岐するとともに該壁部を貫通して外部に連通する第2の案内通路とを有することを特徴とする蒸着用坩堝。
IPC (3件)：
C23C 14/24 ,  H05B 33/10 ,  H01L 51/50
FI (4件)：
C23C14/24 A ,  C23C14/24 U ,  H05B33/10 ,  H05B33/14 A
Fターム (16件)：
3K107AA01 ,  3K107CC45 ,  3K107GG04 ,  3K107GG28 ,  3K107GG32 ,  3K107GG34 ,  4K029AA09 ,  4K029AA24 ,  4K029BA62 ,  4K029BB03 ,  4K029CA01 ,  4K029DA03 ,  4K029DB06 ,  4K029DB10 ,  4K029DB12 ,  4K029DB18
引用特許：
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (7件)
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