特許

J-GLOBAL ID：201303085501860453

検査装置および検査方法

発明者： 中西 英俊 ,  斗内 政吉
出願人/特許権者： 大日本スクリーン製造株式会社 ,  国立大学法人大阪大学
代理人 (2件)： 吉竹 英俊 ,  有田 貴弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-155665
公開番号（公開出願番号）：特開2013-019861
出願日： 2011年07月14日
公開日（公表日）： 2013年01月31日
要約：

【課題】基板に形成されているフォトデバイスの光励起キャリア発生領域を非接触で検査する技術を提供する。【解決手段】検査装置100は、フォトデバイスが形成された太陽電池パネル90を検査する。検査装置100は、パルス光LP11を太陽電池パネル90の受光面91S側から照射する照射部12と、該パルス光LP11の照射に応じて発生するテラヘルツ波パルスTL1の電界強度を検出する検出部13(検出器132)とを備える。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

フォトデバイスが形成された基板を検査する検査装置であって、 パルス光を基板の検査位置に照射する照射部と、 前記パルス光の照射に応じて前記フォトデバイスにて発生する電磁波パルスを検出する検出部と、 を備える検査装置。

IPC (2件)：

G01M 11/00 ,  H01L 21/66

FI (2件)：

G01M11/00 T ,  H01L21/66 C

Fターム (6件)：

2G086EE04 ,  4M106AA01 ,  4M106AA20 ,  4M106BA20 ,  4M106CA17 ,  4M106DE18

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 太陽電池のフォトルミネセンスによる欠陥検査装置及び方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2007-063527   出願人：独立行政法人宇宙航空研究開発機構
• 光電変換素子の製造方法、光電変換素子の製造装置および光電変換素子
  公報種別：再公表公報   出願番号：JP2010061030   出願人：京セラ株式会社

審査官引用 (1件)

• 太陽電池のフォトルミネセンスによる欠陥検査装置及び方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2007-063527   出願人：独立行政法人宇宙航空研究開発機構