特許
J-GLOBAL ID：200903064289196394

太陽電池のフォトルミネセンスによる欠陥検査装置及び方法

発明者：
川北 史朗

川北 史朗 について

, 
田島 道夫

田島 道夫 について


出願人/特許権者：
独立行政法人 宇宙航空研究開発機構

独立行政法人 宇宙航空研究開発機構 について


代理人 (5件)： 熊倉 禎男 ,  大塚 文昭 ,  西島 孝喜 ,  須田 洋之 ,  平野 誠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-063527
公開番号（公開出願番号）：特開2008-224432
出願日： 2007年03月13日
公開日（公表日）： 2008年09月25日
要約：
【課題】太陽電池のクラック等の欠陥の検査を一定の判定レベルで簡単に行うことができる検査装置と方法を提供する。【解決手段】太陽電池を検査する装置(1)は、複数の太陽電池(10a)を有する太陽電池パネル(10)を載置する試料台(25)と、太陽電池を照射するためのLED(32)を有する照射装置(31)と、LEDに電流を印加するLED電源(30)と、フィルター(37)を介して太陽電池の発光を撮像する撮像装置(35)と、撮像装置による撮像を制御し、撮像装置により撮像した画像を処理する制御演算装置(50)と、照射装置と撮像装置を移動するための駆動装置(40)とを備える。駆動装置により照射装置と撮像装置を移動して、太陽電池パネルの各々の太陽電池の画像を撮像する。制御演算装置は、太陽電池の2つの画像から差分画像を作成し、差分画像を所定のしきい値で2値化し、差分2値化画像を作成する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
太陽電池の欠陥を検査する装置であって、 前記太陽電池を載置する試料台と、 前記太陽電池を照射するための、LEDユニットを有する照射装置と、 前記LEDユニットのLEDに電流を印加するためのLED電源と、 前記太陽電池の画像を撮像するための、フィルターユニットを有する撮像装置と、 前記撮像装置による撮像を制御し、前記撮像装置により撮像した画像データを処理する制御演算装置と、 撮像した画像を表示する出力装置と、を備え、 前記フィルターユニットのフィルターは、長波長透過フィルターであり、透過限界波長は、前記LEDの発光波長より長く、前記太陽電池の少なくとも1つの発光波長より短いことを特徴とする太陽電池検査装置。
IPC (2件)：
G01N 21/64 ,  H01L 31/04
FI (2件)：
G01N21/64 Z ,  H01L31/04 K
Fターム (21件)：
2G043AA03 ,  2G043CA07 ,  2G043EA01 ,  2G043FA01 ,  2G043FA06 ,  2G043GA02 ,  2G043GA06 ,  2G043GA08 ,  2G043GB18 ,  2G043GB19 ,  2G043HA11 ,  2G043JA02 ,  2G043KA01 ,  2G043KA02 ,  2G043KA03 ,  2G043KA05 ,  2G043LA03 ,  2G043NA05 ,  2G043NA06 ,  5F051BA14 ,  5F051KA10
引用特許：
出願人引用 (11件)
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審査官引用 (11件)
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引用文献：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (1件)

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