特許
J-GLOBAL ID:201303085708700499
耐食性セラミックス溶射皮膜の形成方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
高山 宏志
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-265166
公開番号(公開出願番号):特開2002-068831
特許番号:特許第4733819号
出願日: 2000年09月01日
公開日(公表日): 2002年03月08日
請求項(抜粋):
【請求項1】MgOとAl2O3との組成比MgO/Al2O3が重量比で0.67〜2.33の範囲である溶射原料を基材上に溶射する耐食性セラミックス溶射皮膜の形成方法であって、溶射皮膜の気孔率(%)と溶射原料の平均粒径(μm)との積が5以下、溶射皮膜の気孔率が3.2〜5%となるようにすることを特徴とする耐食性セラミックス溶射皮膜の形成方法。
IPC (2件):
C04B 35/443 ( 200 6.01)
, H01L 21/683 ( 200 6.01)
FI (2件):
C04B 35/44 101
, H01L 21/68 N
引用特許:
審査官引用 (10件)
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プラズマ溶射法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平9-032082
出願人:三井造船株式会社
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耐食性部材
公報種別:公開公報
出願番号:特願平9-142680
出願人:京セラ株式会社
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半導体素子製造装置用部材
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-015832
出願人:京セラ株式会社
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特許第4368021号
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特開平4-323358
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特開平4-323358
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溶融金属用測温計
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-330475
出願人:東京窯業株式会社, 明智セラミックス株式会社
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特許第4368021号
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特許第4368021号
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特許第4368021号
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