レーザー加工装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：小野尚純 , 奥貫佐知子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-049727
公開番号（公開出願番号）：特開2013-184177
出願日： 2012年03月06日
公開日（公表日）： 2013年09月19日
要約：

【課題】パルスレーザー光線の波長、繰り返し周波数、パルス幅を含む加工条件がそれぞれ異なる複数のレーザー加工を実施することができるレーザー加工装置を提供する。【解決手段】レーザー光線照射機構4は、パルスレーザー光線を発振するパルスレーザー光線発振手段41と、パルスレーザー光線発振手段が発振するパルスレーザー光線の出力を調整する出力調整器421a、421b、421cと、出力調整器によって出力が調整されたレーザー光線を集光せしめる集光器422a、422b、422cを具備し、パルスレーザー光線発振手段41は、パルスレーザー光線の波長、繰り返し周波数、パルス幅がそれぞれ設定された複数の発振器41a、41b、41cを備えており、複数の発振器と出力調整器との間に複数の発振器のいずれかを選択する発振器選択手段43a、43b、43cが配設されている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

被加工物を保持するチャックテーブルと該チャックテーブルを加工送り方向に相対的に加工送りする加工送り手段とを備えたチャックテーブル機構と、該チャックテーブルに保持された被加工物にレーザー光線を照射するレーザー光線照射機構と、を具備するレーザー加工装置において、該レーザー光線照射機構は、パルスレーザー光線を発振するパルスレーザー光線発振手段と、該パルスレーザー光線発振手段が発振するパルスレーザー光線の出力を調整する出力調整器と、該出力調整器によって出力が調整されたレーザー光線を集光せしめる集光器を具備し、該パルスレーザー光線発振手段は、パルスレーザー光線の波長、繰り返し周波数、パルス幅がそれぞれ設定された複数の発振器を備えており、該複数の発振器と該出力調整器との間に、該複数の発振器のいずれかを選択する発振器選択手段が配設されている、ことを特徴とするレーザー加工装置。

IPC (1件)：

B23K 26/00

FI (1件)：

B23K26/00 N

Fターム (8件)：

4E068AF00 , 4E068AH00 , 4E068CA02 , 4E068CA03 , 4E068CA04 , 4E068CA08 , 4E068CE04 , 4E068CK01

引用特許：

審査官引用 (9件)

特開昭61-293694
特開昭58-182886
レーザー加工装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2009-281725 出願人：株式会社ディスコ

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