特許

J-GLOBAL ID：201303087270634946

基板処理装置、基板処理方法、半導体装置の製造方法及び縮退運用プログラム

発明者： 水口 靖裕
出願人/特許権者： 株式会社日立国際電気
代理人 (4件)： 油井 透 ,  阿仁屋 節雄 ,  清野 仁 ,  福岡 昌浩
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-000771
公開番号（公開出願番号）：特開2013-140897
出願日： 2012年01月05日
公開日（公表日）： 2013年07月18日
要約：

【課題】基板搬送中の異常が原因で基板が滞留しても、一括処理に必要な基板に不足を生じさせることなく基板処理を続行する。【解決手段】 制御手段は、基板搬送中に異常を検出したら、異常が発生した箇所を特定し、異常が発生した箇所を含む基板処理装置の各部について、基板の処理状況に応じて処理内容が定義された縮退運用テーブルを、異常が発生した箇所に応じて選択し、選択した縮退運用テーブルに従って基板を搬送するよう制御する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

所定の基板を各室内に搬送するよう制御する制御手段を備えた基板処理装置であって、 前記制御手段は、 前記基板搬送中に異常を検出したら、 前記異常が発生した箇所を特定し、 前記異常が発生した箇所を含む前記基板処理装置の各部について、前記基板の処理状況に応じて処理内容が定義された縮退運用テーブルを、前記異常が発生した箇所に応じて選択し、 選択した前記縮退運用テーブルに従って前記基板を搬送するよう制御する ことを特徴とする基板処理装置。

IPC (6件)：

H01L 21/31 ,  H01L 21/677 ,  B65G 49/07 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/306 ,  C23C 16/44

FI (6件)：

H01L21/31 C ,  H01L21/68 A ,  B65G49/07 C ,  H01L21/205 ,  H01L21/302 101G ,  C23C16/44 F

Fターム (41件)：

4K030CA04 ,  4K030GA11 ,  4K030KA41 ,  5F004BC06 ,  5F031CA02 ,  5F031DA01 ,  5F031EA16 ,  5F031FA01 ,  5F031FA07 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031FA15 ,  5F031GA02 ,  5F031GA47 ,  5F031GA48 ,  5F031GA49 ,  5F031GA50 ,  5F031JA01 ,  5F031JA22 ,  5F031KA13 ,  5F031KA14 ,  5F031MA04 ,  5F031MA06 ,  5F031MA09 ,  5F031MA28 ,  5F031MA32 ,  5F031NA03 ,  5F031NA05 ,  5F031NA07 ,  5F031PA10 ,  5F045AA08 ,  5F045AA15 ,  5F045AF19 ,  5F045BB08 ,  5F045BB10 ,  5F045BB20 ,  5F045DP15 ,  5F045DQ17 ,  5F045EB08 ,  5F045EB09 ,  5F045EN04

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 基板処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-139408   出願人：株式会社日立国際電気
• 半導体製造装置の障害対処システム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-222623   出願人：国際電気株式会社
• 半導体製造装置におけるダミー基板の運用方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-060080   出願人：株式会社日立国際電気

審査官引用 (1件)

• 基板処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-139408   出願人：株式会社日立国際電気