特許
J-GLOBAL ID：201303087937069495

粒子源及びその製造方法

発明者：
リウ、フアロン

リウ、フアロン について


出願人/特許権者：
サーティエイス リサーチ インスティチュート、チャイナ エレクトロニクス テクノロジー グループ コーポレイション

サーティエイス リサーチ インスティチュート、チャイナ エレクトロニクス テクノロジー グループ コーポレイション について


代理人 (1件)： 特許業務法人浅村特許事務所
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-520965
公開番号（公開出願番号）：特表2013-535089
出願日： 2012年06月13日
公開日（公表日）： 2013年09月09日
要約：
本発明は、粒子源を製造するための方法を提供する。本発明の粒子源を製造するための方法は、真空の環境内に針金を設置して活性ガス及び触媒ガスを導入し、針金の温度に対して調節を行うと共に、針金に対して正の高電圧Vを印加することによって、針金表面の活性ガスを解離させて針金のヘッドの側面においてエッチング領域を形成し、このエッチング領域内で電界誘起エッチングを発生させるステップと、電界誘起エッチングにより、針金のヘッドの頂端における表面の電界を、針金の材料の電界蒸発の電界より大きくなるまで増強させ、前記針金のヘッドの頂端における金属原子を蒸発させるステップと、電界誘起エッチングによって電界蒸発を触発した後、針金のヘッド形状が台座と台座上にある針先とから構成されることになるまで、台座を形成するのに側面で発生する電界誘起エッチングと、針先を形成するのに頂端で発生する電界蒸発との二種のメカニズムを互いに調節するステップと、予め定められた形状を有する針金のヘッドが得られた時、電界誘起エッチング及び電界蒸発を停止させるステップとを含む。
請求項（抜粋）：
真空の環境内に針金を設置して活性ガス及び触媒ガスを導入し、針金の温度に対して調節を行うと共に、針金に対して正の高電圧Vを印加することによって、針金表面の活性ガスを解離させて針金のヘッドの側面においてエッチング領域を形成し、このエッチング領域内で電界誘起エッチングを発生させるステップと、 電界誘起エッチングにより、針金のヘッドの頂端における表面の電界を、針金の材料の電界蒸発の電界より大きくなるまで増強させ、前記針金のヘッドの頂端における金属原子を蒸発させるステップと、 電界誘起エッチングによって電界蒸発を触発した後、針金のヘッド形状が台座と台座上にある針先とから構成されることになるまで、台座を形成するのに側面で発生する電界誘起エッチングと、針先を形成するのに頂端で発生する電界蒸発との二種のメカニズムを互いに調節するステップと、 予め定められた形状を有する針金のヘッドが得られた時、電界誘起エッチング及び電界蒸発を停止させるステップとを含む粒子源を製造するための方法。
IPC (5件)：
H01J 9/02 ,  H01J 37/073 ,  H01J 27/26 ,  H01J 37/08 ,  H01J 1/304
FI (6件)：
H01J9/02 B ,  H01J9/02 S ,  H01J37/073 ,  H01J27/26 ,  H01J37/08 ,  H01J1/30 F
Fターム (21件)：
5C030CC02 ,  5C030DF02 ,  5C127AA04 ,  5C127AA05 ,  5C127AA11 ,  5C127AA13 ,  5C127BA10 ,  5C127BA15 ,  5C127BB02 ,  5C127CC03 ,  5C127DD70 ,  5C127DD72 ,  5C127EE02 ,  5C127EE20 ,  5C135AA10 ,  5C135AA15 ,  5C135AB02 ,  5C135AC03 ,  5C135AC04 ,  5C135HH02 ,  5C135HH20
引用特許：
出願人引用 (11件)
全件表示
審査官引用 (11件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM