特許
J-GLOBAL ID：201303088018673420
黒鉛薄膜およびその製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人 安富国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-082781
公開番号（公開出願番号）：特開2013-212938
出願日： 2012年03月30日
公開日（公表日）： 2013年10月17日
要約：
【課題】極めて薄く大面積で均一性に優れ、なおかつa-b面方向の電気伝導度が25000S/cm以上である高品質の人工黒鉛薄膜を提供する。【解決手段】厚さが2nm〜4.5μm、厚さ分布が±15%以内、25°Cにおけるa-b面方向の電気伝導度が25000S/cm以上である黒鉛薄膜に関する。また、蒸着重合により得られたポリアミド酸薄膜を加熱し、厚さが10nm〜10μmのポリイミド薄膜を得る工程、および、得られたポリイミド薄膜を2200°C以上で熱処理し、黒鉛薄膜を得る工程を含むことを特徴とする黒鉛薄膜の製造方法に関する。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
厚さが2nm〜4.5μm、厚さ分布が±15%以内、25°Cにおけるa-b面方向の電気伝導度が25000S/cm以上である黒鉛薄膜。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (23件)：
4G146AA02
, 4G146AB07
, 4G146AC01A
, 4G146AC01B
, 4G146AC20A
, 4G146AC20B
, 4G146AD20
, 4G146AD22
, 4G146BA15
, 4G146BA42
, 4G146BB23
, 4G146BC03
, 4G146BC04
, 4G146BC07
, 4G146BC18
, 4G146BC23
, 4G146BC34B
, 4G146BC35A
, 4G146BC35B
, 4G146BC36A
, 4G146CB01
, 4G146CB19
, 4G146CB35
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (9件)
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