特許

J-GLOBAL ID：201303088482812697

薄板収納容器

発明者： 戸田 順也 ,  藤森 義昭
出願人/特許権者： 信越ポリマー株式会社
代理人 (4件)： 長谷川 芳樹 ,  黒木 義樹 ,  清水 義憲 ,  大阪 弘一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-044232
公開番号（公開出願番号）：特開2013-182938
出願日： 2012年02月29日
公開日（公表日）： 2013年09月12日
要約：

【課題】同じサポート冶具を使用しながら、径の異なる複数種類の薄板を収納することができる薄板収納容器を提供する。【解決手段】容器本体3に収納されて薄板Wを載置するサポート冶具10が積層されたサポート冶具体11と、サポート冶具10に載置された薄板Wの位置を規制する位置規制体13と、を備え、サポート冶具10に、位置規制体13が挿入される位置規制体挿入穴17を、載置部15の中心からの距離が異なる位置に複数形成する。すると、位置規制体挿入穴17に位置規制体13を挿入することで、サポート冶具10に載置された薄板Wの位置を規制することができ、位置規制体13を挿入する位置規制体挿入穴17を変えることで、載置部15の中心から位置規制体13までの距離を変えることができるため、径の異なる複数種類の薄板Wの位置を適切に規制することができる。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

前面に開口部が形成されて薄板が収納される容器本体と、 前記容器本体に収納されて前記薄板を載置するサポート冶具が積層されたサポート冶具体と、 前記サポート冶具に載置された前記薄板の位置を規制する位置規制体と、 前記位置規制体を異なる位置で保持可能な保持手段と、 を有する薄板収納容器。

IPC (2件)：

H01L 21/673 ,  B65D 85/86

FI (2件)：

H01L21/68 T ,  B65D85/38 R

Fターム (29件)：

3E096AA06 ,  3E096BA16 ,  3E096BB04 ,  3E096CA05 ,  3E096CA08 ,  3E096CB03 ,  3E096CC02 ,  3E096DA01 ,  3E096DA03 ,  3E096DA09 ,  3E096DA25 ,  3E096DC02 ,  3E096EA02X ,  3E096EA02Y ,  3E096EA06Y ,  3E096FA09 ,  3E096FA15 ,  3E096FA40 ,  3E096GA03 ,  3E096GA11 ,  3E096GA12 ,  3E096GA13 ,  5F031CA02 ,  5F031DA08 ,  5F031EA10 ,  5F031KA03 ,  5F031KA12 ,  5F031PA13 ,  5F031PA16

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 基板収納容器用補助具及び基板収納容器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-153265   出願人：旭化成マイクロシステム株式会社
• 被支持体積層支持装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-031090   出願人：株式会社ダイフク