特許
J-GLOBAL ID：200903080187034328

基板収納容器用補助具及び基板収納容器

発明者：
大賀 勝徳

大賀 勝徳 について

, 
田中 克彦

田中 克彦 について


出願人/特許権者：
旭化成マイクロシステム株式会社

旭化成マイクロシステム株式会社 について


代理人 (3件)： 森 哲也 ,  内藤 嘉昭 ,  崔 秀▲てつ▼
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-153265
公開番号（公開出願番号）：特開2005-340264
出願日： 2004年05月24日
公開日（公表日）： 2005年12月08日
要約：
【課題】 収納対象の基板の外形寸法が変更となった場合でも、金型の設計変更が不要であり、収納容器本体の使い廻しが可能な基板収納容器用補助具及び基板収納容器を提供する。【解決手段】 複数枚の8インチウエハを一定間隔で配列させた状態で収納可能なキャリア本体50の内側に取り付けられるアダプタ30であって、8インチウエハとは外形の寸法が異なる6インチウエハをキャリア本体50内で配列させるウエハ支持板10等を有する。従来方式と比べて、収納対象である異径ウエハや、異形ウエハの組合せが変更となった場合でも、金型の設計変更が不要であり、キャリア本体50の使い廻しが可能である。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
複数枚の第1基板を一定間隔で配列させた状態で収納可能な基板収納容器の内側に取り付けられる補助具であって、 前記第1基板とは外形の寸法が異なる第2基板を前記基板収納容器内で配列させる配列手段、を有することを特徴とする基板収納容器用補助具。
IPC (2件)：
H01L21/68 ,  B65D85/86
FI (2件)：
H01L21/68 V ,  B65D85/38 R
Fターム (20件)：
3E096AA05 ,  3E096BA16 ,  3E096BB04 ,  3E096CA09 ,  3E096CB03 ,  3E096CC02 ,  3E096DA25 ,  3E096DB06 ,  3E096DC04 ,  3E096EA02X ,  3E096EA02Y ,  3E096FA09 ,  3E096FA15 ,  3E096FA31 ,  3E096GA03 ,  3E096GA13 ,  5F031CA02 ,  5F031DA01 ,  5F031EA18 ,  5F031PA16
引用特許：
出願人引用 (3件)
  • 収容器
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-241785   出願人：ソニー株式会社
  • 特開昭59-213142号公報
  • 特開昭57-167629号公報
審査官引用 (2件)
  • 基板カセット
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-161867   出願人：株式会社ニコン
  • ウエハカセット
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-398606   出願人：東京エレクトロン株式会社, 株式会社柿崎製作所

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