特許
J-GLOBAL ID：201303088829085979
電解めっき装置用めっき液保持部材
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
恩田 博宣
, 恩田 誠
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-131321
公開番号（公開出願番号）：特開2002-327300
特許番号：特許第4833432号
出願日： 2001年04月27日
公開日（公表日）： 2002年11月15日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 外周部分の導電性がそれよりも内側部分の導電性に比べて相対的に小さい多孔質セラミック板からなり、前記外周部分の体積固有抵抗は105Ωm〜1010Ωm、前記内側部分の体積固有抵抗は101Ωm〜105Ωmであることを特徴とする電解めっき装置用めっき液保持部材。
IPC (4件)：
C25D 17/10 ( 200 6.01)
, C25D 7/12 ( 200 6.01)
, C25D 17/12 ( 200 6.01)
, H01L 21/288 ( 200 6.01)
C25D 17/10 Z
, C25D 7/12
, C25D 17/12 Z
, H01L 21/288 E
