特許
J-GLOBAL ID：201303088926794194
プラズマ評価装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-234839
公開番号（公開出願番号）：特開2013-131487
出願日： 2012年10月24日
公開日（公表日）： 2013年07月04日
要約：
【課題】医療用等のプラズマ照射装置が生成する電流、及び生体等に流れる電流を簡便に計測し、客観的にプラズマを評価する装置、及び方法を提供することを目的とする。【解決手段】プラズマ照射装置が生成するプラズマを被照射材で受けて、その被照射材が被照射側測定端子を介して抵抗器と差動アンプからなる微弱電流測定部に接続されており、さらにその微弱電流測定部の抵抗はプラズマ生成用電源の接地側に接続されており、抵抗器の抵抗間にかかる電圧を差動アンプを介して測定することで電流を計測し、及びプラズマ生成用電源の出力電圧を測ることでプラズマを評価するプラズマ評価装置及び方法。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
プラズマ照射装置が生成するプラズマを被照射材で受けて、その被照射材が被照射側測定端子を介して抵抗器と差動アンプからなる微弱電流測定部に接続されており、さらにその微弱電流測定部の抵抗はプラズマ生成用電源の接地側に接続されており、抵抗器の抵抗間にかかる電圧を差動アンプを介して電流を測定し、及びプラズマ生成用電源の出力電圧を測ることでプラズマを評価することを特徴とするプラズマ評価装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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