合成石英粉の製造方法および石英ガラスルツボの製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：志賀正武 , 高橋詔男 , 村山靖彦
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-126413
公開番号（公開出願番号）：特開2002-080230
特許番号：特許第4898014号
出願日： 2001年04月24日
公開日（公表日）： 2002年03月19日
請求項（抜粋）：

【請求項1】湿式法で製造したシリカゲル粉末を、大気下で脱水酸基温度以上〜粉末焼結温度未満の温度で焼成して合成石英粉とし、この合成石英粉を、真空度100Pa以下の真空下で、脱炭温度以上および粉末焼結温度未満の温度で焼成し、真空下での焼成を真空度が5Pa以下に達した後に終了することを特徴とする合成石英粉の製造方法。

IPC (4件)：

C01B 33/18 ( 200 6.01) , C01B 33/158 ( 200 6.01) , C03B 20/00 ( 200 6.01) , C30B 15/10 ( 200 6.01)

FI (6件)：

C01B 33/18 E , C01B 33/18 D , C01B 33/158 , C03B 20/00 D , C03B 20/00 H , C30B 15/10

引用特許：

審査官引用 (7件)

特開平2-289416
合成石英粉の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-089567 出願人：三菱化学株式会社
合成石英粉の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-252456 出願人：三菱化学株式会社

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