特許
J-GLOBAL ID：201303089632094271
傾斜測定装置およびその方法
発明者：
,
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出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
西川 惠清
, 水尻 勝久
, 坂口 武
, 北出 英敏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-263876
公開番号（公開出願番号）：特開2013-117395
出願日： 2011年12月01日
公開日（公表日）： 2013年06月13日
要約：
【課題】計測対象の傾斜角度にかかわらず、計測結果の誤差を抑制可能とする。【解決手段】照射手段10は、光放射装置11と円筒状の偏光子12とを備え、偏光子12を通して計測対象1に円偏光を照射する。撮像手段20は、計測対象1からの正反射光を検光子22を通してカメラ21で撮像する。解析手段30は、撮像手段20の出力を用いて正反射光の偏光状態を検出し、この偏光状態から計測対象1における正反射光の反射部位が規定の基準平面に対してなす角度を算出する。解析手段30は、反射光の偏光状態から算出した角度を、角度ごとに定められた関係で補正することにより、計測対象1の表面における傾斜角度を求める。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
計測対象に円偏光を照射する照射手段と、
検光子を通して前記計測対象からの正反射光を撮像する撮像手段と、
前記撮像手段の出力を用いて前記正反射光の偏光状態を検出し、この偏光状態から前記計測対象における正反射光の反射部位が規定の基準平面に対してなす角度を算出する解析手段とを備え、
前記解析手段は、反射光の偏光状態から算出した前記角度を、前記角度ごとに定められた関係で補正することにより、計測対象の表面における傾斜角度を求める
ことを特徴とする傾斜測定装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (23件)：
2F065AA33
, 2F065AA35
, 2F065DD03
, 2F065DD06
, 2F065EE00
, 2F065FF04
, 2F065FF17
, 2F065FF50
, 2F065FF65
, 2F065GG11
, 2F065HH10
, 2F065JJ03
, 2F065JJ26
, 2F065LL22
, 2F065LL33
, 2F065LL34
, 2F065LL36
, 2F065QQ17
, 2F065QQ24
, 2F065QQ29
, 2F065QQ31
, 2F065QQ42
, 2F065UU07
