特許

J-GLOBAL ID：201303091098085371

走査電子顕微鏡

発明者： 横須賀 俊之 ,  李 燦 ,  数見 秀之 ,  牧野 浩士 ,  水原 譲 ,  伊澤 美紀 ,  波田野 道夫 ,  桃井 義典
出願人/特許権者： 株式会社日立ハイテクノロジーズ
代理人 (3件)： 井上 学 ,  戸田 裕二 ,  岩崎 重美
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-072710
公開番号（公開出願番号）：特開2013-206641
出願日： 2012年03月28日
公開日（公表日）： 2013年10月07日
要約：

【課題】本発明は、試料表面が導電性材料であったとしても、穴底等から放出される電子を高効率に引き上げる電界を形成する走査電子顕微鏡の提供を目的とする。【解決手段】上記目的を達成するため本発明では、電子ビームの走査位置を偏向する偏向器と、試料を搭載するための試料ステージを備えた走査電子顕微鏡において、測定対象パターンに対しビームを走査する前に、当該測定対象パターンの下層に位置する下層パターンが、下層に位置する他のパターンに対するビーム照射を行うように、前記偏向器、或いは試料ステージを制御する制御装置を備えた走査電子顕微鏡を提案する。【選択図】 図4

請求項（抜粋）：

電子源と、当該電子源から放出された電子ビームを集束する対物レンズと、当該電子ビームの走査位置を偏向する偏向器と、試料を搭載するための試料ステージを備えた走査電子顕微鏡において、 測定対象パターンに対しビームを走査する前に、当該測定対象パターンの下層に位置する下層パターンが、下層に位置する他のパターンに対するビーム照射を行うように、前記偏向器、或いは試料ステージを制御する制御装置を備えたことを特徴とする走査電子顕微鏡。

IPC (6件)：

H01J 37/28 ,  H01J 37/05 ,  H01J 37/244 ,  H01L 21/66 ,  G01B 15/04 ,  G01B 15/00

FI (6件)：

H01J37/28 B ,  H01J37/05 ,  H01J37/244 ,  H01L21/66 J ,  G01B15/04 K ,  G01B15/00 K

Fターム (31件)：

2F067AA21 ,  2F067AA54 ,  2F067BB01 ,  2F067BB04 ,  2F067GG08 ,  2F067HH06 ,  2F067JJ05 ,  2F067KK04 ,  2F067KK08 ,  2F067LL17 ,  2F067QQ02 ,  2F067RR01 ,  2F067RR12 ,  2F067RR25 ,  2F067RR29 ,  2F067RR38 ,  2F067SS02 ,  2F067SS03 ,  2F067SS13 ,  4M106AA01 ,  4M106AA02 ,  4M106BA02 ,  4M106CA38 ,  4M106DB30 ,  5C033NP04 ,  5C033NP06 ,  5C033UU01 ,  5C033UU02 ,  5C033UU04 ,  5C033UU05 ,  5C033UU10

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 電子ビームの照射方法及び走査電子顕微鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2010-148463   出願人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
• 特開平1-115042
  
• 半導体装置の評価方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-052379   出願人：松下電子工業株式会社