特許

J-GLOBAL ID：201303091737373774

面圧センサ

発明者： 伊東 孝道 ,  中原 健司 ,  丹羽 英二
出願人/特許権者： タカノ株式会社 ,  公益財団法人電磁材料研究所
代理人 (5件)： 綿貫 隆夫 ,  岡村 隆志 ,  堀米 和春 ,  平井 善博 ,  傳田 正彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-219104
公開番号（公開出願番号）：特開2013-079837
出願日： 2011年10月03日
公開日（公表日）： 2013年05月02日
要約：

【課題】経時変化や温度依存性が小さく、また繰り返し使用できて正確な値を測定可能な面圧センサを提供する。【解決手段】基板11と、基板11上に直接形成された複数の金属抵抗型ひずみゲージ12とを具備し、基板11の下面側には、1又は複数の金属抵抗型ひずみゲージ12に対応する位置に、基板11が変形可能となるような凹部14が形成されている。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

基板と、 該基板上に直接形成された複数の金属抵抗型ひずみゲージとを具備し、 前記基板の下面側には、1又は複数の金属抵抗型ひずみゲージに対応する位置に、基板が変形可能となるような凹部が形成されていることを特徴とする面圧センサ。

IPC (1件)：

G01L 5/00

FI (1件)：

G01L5/00 101Z

Fターム (3件)：

2F051AA12 ,  2F051AA13 ,  2F051AB09

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 歪センサ、その製造方法および歪検出方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-155261   出願人：財団法人ファインセラミックスセンター, 株式会社大崎総合研究所, 清水建設株式会社
• ボルトの軸力測定器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-173544   出願人：寺澤義一