特許
J-GLOBAL ID：201303093060154186
ガス供給装置及び方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
木戸 一彦
, 木戸 良彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-034776
公開番号（公開出願番号）：特開2013-170623
出願日： 2012年02月21日
公開日（公表日）： 2013年09月02日
要約：
【課題】バックアップ装置が作動を開始したときの圧力低下を抑えることができるガス供給装置及び方法を提供する。【解決手段】供給用ガス源からガス使用先に第1設定圧力以上の圧力でガスを供給するガス供給経路12と、ガス供給経路12にバックアップ装置13からのガスを補給するバックアップ経路15と、バックアップ経路15に設けられたバックアップ弁18と、ガス供給経路12内の圧力を検出する圧力検出器17と、ガス供給経路12内の圧力をあらかじめ設定された第2設定圧力に調節する圧力調節手段16とを備えたガス供給装置において、供給用ガス源がガス供給を停止したときに、バックアップ弁18を全開状態にするとともに、全開状態になったバックアップ弁18の開度を徐々に閉方向に作動させるバックアップ弁制御手段を備える。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
供給用ガス源からガス使用先にあらかじめ設定された第1設定圧力以上の圧力でガスを供給するガス供給経路と、該ガス供給経路にバックアップ装置からのガスを補給するバックアップ経路と、該バックアップ経路に設けられたバックアップ弁と、前記ガス供給経路内の圧力を検出する圧力検出器と、前記ガス供給経路内の圧力をあらかじめ設定された第2設定圧力に調節する圧力調節手段とを備えたガス供給装置において、前記供給用ガス源がガス供給を停止したときに、前記バックアップ弁を全開状態にするとともに、全開状態になったバックアップ弁の開度を徐々に閉方向に作動させるバックアップ弁制御手段を備えているガス供給装置。
IPC (2件)：
FI (3件)：
F17C9/02
, F25J3/04 A
, F25J3/04 103
3E172AA03
, 3E172AA06
, 3E172AB11
, 3E172BA09
, 3E172BB04
, 3E172BD05
, 3E172DA90
, 3E172EB02
, 4D047AA08
, 4D047AB02
, 4D047BA06
, 4D047DB05
, 4D047EA00
, 4D047EA04
