特許

J-GLOBAL ID：201303093234453722

レーザ装置、レーザシステムおよび極端紫外光生成装置

発明者： 若林 理 ,  クリストフ ノバック
出願人/特許権者： ギガフォトン株式会社
代理人 (4件)： 小山 卓志 ,  田中 貞嗣 ,  韮澤 弘 ,  南 義明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-271082
公開番号（公開出願番号）：特開2013-214708
出願日： 2012年12月12日
公開日（公表日）： 2013年10月17日
要約：

【課題】 シードレーザ光を高い効率で増幅する増幅器を提供する。【解決手段】 増幅器は、シードレーザ光の光路上に配置された複数の放電管と、前記複数の放電管の間であって、前記シードレーザ光が所定の光路を形成するように配置され、点光源を所定の点に結像させる反射光学系と、を備える。【選択図】図3A

請求項（抜粋）：

シードレーザ光の光路上に配置された複数の放電管と、 前記複数の放電管の間であって、前記シードレーザ光が所定の光路を形成するように配置され、点光源を所定の点に結像させる反射光学系と、 を備える増幅器。

IPC (3件)：

H01S 3/23 ,  H01S 3/00 ,  H01S 3/034

FI (3件)：

H01S3/23 ,  H01S3/00 A ,  H01S3/03 G

Fターム (17件)：

5F071AA05 ,  5F071DD04 ,  5F071EE02 ,  5F071JJ02 ,  5F071JJ04 ,  5F071JJ05 ,  5F071JJ07 ,  5F172AD05 ,  5F172DD04 ,  5F172EE22 ,  5F172NN22 ,  5F172NQ24 ,  5F172NQ48 ,  5F172NR12 ,  5F172NR28 ,  5F172NR30 ,  5F172ZZ14

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 極端紫外光源用ドライバレーザ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2007-186798   出願人：株式会社小松製作所, ギガフォトン株式会社
• レーザシステム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2009-047768   出願人：株式会社小松製作所, ギガフォトン株式会社
• 極端紫外光源装置用ドライバーレーザ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2007-089367   出願人：株式会社小松製作所, ギガフォトン株式会社
• スラブ型レーザ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2009-029011   出願人：株式会社小松製作所, ギガフォトン株式会社