特許
J-GLOBAL ID：200903002530809631

極端紫外光源用ドライバレーザ

発明者：
有我 達也

有我 達也 について

, 
遠藤 彰

遠藤 彰 について


出願人/特許権者：
株式会社小松製作所

株式会社小松製作所 について

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ギガフォトン株式会社

ギガフォトン株式会社 について


代理人 (3件)： 宇都宮 正明 ,  渡部 温 ,  柳瀬 睦肇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-186798
公開番号（公開出願番号）：特開2009-026854
出願日： 2007年07月18日
公開日（公表日）： 2009年02月05日
要約：
【課題】小型で、レーザ光の増幅を効率良く行うことができ、増幅されたレーザ光の集光性に優るドライバレーザを提供する。【解決手段】このドライバレーザは、発振によりレーザ光を生成するレーザ発振器と、レーザ発振器によって生成されるレーザ光を入力し、該レーザ光を増幅して出力する少なくとも1つのスラブ型レーザ増幅器とを具備し、少なくとも1つのスラブ型レーザ増幅器が、第1のウィンドウ及び第2のウィンドウを有し、炭酸ガス(CO2)を含む気体で充たされたチャンバと、チャンバ内に配置され、高周波電圧が印加されることにより形成される放電領域において気体を励起してレーザ光を増幅する一対の電極と、チャンバ内に配置され、第1のウィンドウから入射するレーザ光を多重反射することにより放電領域内を伝播させて第2のウィンドウから出射させる複数のミラーを有する光学系とを含む。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
レーザ光をターゲット物質に照射することにより前記ターゲット物質をプラズマ化して極端紫外光を発生させる極端紫外光源装置において用いられるドライバレーザであって、 発振によりレーザ光を生成するレーザ発振器と、 前記レーザ発振器によって生成されるレーザ光を入力し、該レーザ光を増幅して出力する少なくとも1つのスラブ型レーザ増幅器と、 を具備し、前記少なくとも1つのスラブ型レーザ増幅器が、 第1のウィンドウ及び第2のウィンドウを有し、炭酸ガス(CO2)を含む気体で充たされたチャンバと、 前記チャンバ内に配置され、高周波電圧が印加されることにより形成される放電領域において前記気体を励起してレーザ光を増幅する一対の電極と、 前記チャンバ内に配置され、前記第1のウィンドウから入射するレーザ光を多重反射することにより前記放電領域内を伝播させて前記第2のウィンドウから出射させる複数のミラーを有する光学系と、 を含む、極端紫外光源用ドライバレーザ。
IPC (2件)：
H01S 3/081 ,  H01L 21/027
FI (2件)：
H01S3/081 ,  H01L21/30 531S
Fターム (10件)：
5F046GC03 ,  5F172AD05 ,  5F172CC01 ,  5F172CC07 ,  5F172CC10 ,  5F172DD01 ,  5F172EE22 ,  5F172NN23 ,  5F172NS01 ,  5F172NS15
引用特許：
審査官引用 (15件)
  • 無線周波数励起導波レーザ
    公報種別：公表公報   出願番号：特願平10-539887   出願人：デマリアエレクトロオプティックスシステムズアイエヌシー
  • ガスレーザ装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-219777   出願人：株式会社東芝
  • 特表平5-506748
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