特許
J-GLOBAL ID：201003039805017279
スラブ型レーザ装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (3件)：
宇都宮 正明
, 関 正治
, 渡部 温
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-029011
公開番号（公開出願番号）：特開2010-021518
出願日： 2009年02月10日
公開日（公表日）： 2010年01月28日
要約：
【課題】パルスレーザを放射するスラブ型炭酸ガス(CO2)レーザ装置について、より効率の高い、設置面積を縮小できるレーザ装置を提供する。【解決手段】スラブ型ガスレーザ媒体部30の一部を挟んで対向する1対の共振器ミラー11,12とカップリング装置で構成され、内部で発振したレーザ光を所定の光強度まで増幅した後にカップリング装置を駆動してレーザ光を増幅器部20に入射させる発振器部10と、入射したレーザ光を偏向する入射ミラー21と、スラブ型ガスレーザ媒体部30の一部を挟んで対向する折返しミラー22,23の間をレーザ光が複数回往復するように構成され、レーザ光を所定の出力をもつレーザ光まで増強して出力する増幅器部20を備える。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
発振器部と増幅器部とスラブ型ガスレーザ媒体部を収納したスラブ型レーザ装置であって、
該スラブ型ガスレーザ媒体部は、ガスレーザ媒体が充填される空間内で平行に対向して配設した1対の電極平板で画定した領域で構成され、該電極平板には高周波電源が接続され、ガスレーザ媒体を充填して電極平板に高周波電力を印加するとガスレーザ媒体が励起され、
前記発振器部は、前記スラブ型ガスレーザ媒体部の一部を挟んで対向する1対の共振器ミラーとカップリング装置で構成され、該発振器部内で発振したレーザ光を所定の光強度まで増幅した後に前記カップリング装置を駆動して該レーザ光を前記増幅器部に入射させ、
該増幅器部は、入射したレーザ光を偏向する入射ミラーと、前記スラブ型ガスレーザ媒体部の一部を挟んで対向する折返しミラーを備え、該折返しミラーの間をレーザ光が複数回往復するように構成され、入射したレーザ光を所定の出力をもつレーザ光まで増強して出力するスラブ型レーザ装置。
IPC (3件)：
H01S 3/081
, H05G 2/00
, H01L 21/027
H01S3/081
, H05G1/00 K
, H01L21/30 531S
4C092AA06
, 4C092AB27
, 4C092AC09
, 4C092BD20
, 5F046GC03
, 5F172AD05
, 5F172CC07
, 5F172CC08
, 5F172CC10
, 5F172DD02
, 5F172DD03
, 5F172EE22
, 5F172NN16
, 5F172NN20
, 5F172NN23
, 5F172NQ14
, 5F172NQ24
, 5F172NQ35
, 5F172NQ48
, 5F172NQ53
