エキシマランプ

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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：松浦孝 , 小倉洋樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-207098
公開番号（公開出願番号）：特開2013-069533
出願日： 2011年09月22日
公開日（公表日）： 2013年04月18日
要約：

【課題】エキシマランプにおいて、紫外線およびオゾンを適切に発生させる。【解決手段】外管30と内管40から成る発光管20、外側電極50A、50B、内側電極60とを備えたエキシマランプ10において、発光管20の開放空間80に内側電極60を非接触で配置する。点灯時、発光管20の壁中に密閉状態で形成された放電空間70に誘電体バリア放電が生じて紫外線が放射される一方、内管40と内側電極60との間でコロナ放電が生じ、オゾンが発生する。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

外管と、前記外管内に配置される内管とを有する発光管と、前記外管の外周面側に配置される外側電極と、前記内管内に形成される開放空間に、軸方向に沿って配置される内側電極とを備え、前記外管と前記内管との間に、放電ガスが封入される放電空間が形成され、前記放電空間において誘電体バリア放電が生じるとともに、前記内管と前記内側電極との間においてコロナ放電が生じるように、前記内側電極が前記内管と非接触であることを特徴とするエキシマランプ。

IPC (4件)：

H01J 65/00 , C02F 1/32 , C02F 1/78 , C02F 1/72

FI (4件)：

H01J65/00 B , C02F1/32 , C02F1/78 , C02F1/72 101

Fターム (10件)：

4D037AA01 , 4D037AB03 , 4D037BA18 , 4D037CA12 , 4D050AA01 , 4D050AB06 , 4D050BB02 , 4D050BC09 , 4D050BD02 , 4D050BD04

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開平4-223039
エキシマランプ
公報種別：公開公報出願番号：特願2008-071076 出願人：ウシオ電機株式会社
オゾンを発生させるための方法およびデバイス
公報種別：公開公報出願番号：特願2008-079370 出願人：ウェデコゲゼルシャフトヒュアウムベルトテクノロジーエムビーエイチ

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