特許
J-GLOBAL ID：201303093503710532

ポジ型感放射線性組成物、表示素子用層間絶縁膜及びその形成方法

発明者：
八代 隆郎

八代 隆郎 について

, 
松村 信司

松村 信司 について

, 
高瀬 英明

高瀬 英明 について


出願人/特許権者：
JSR株式会社

JSR株式会社 について


代理人 (10件)： 天野 一規 ,  藤本 勝誠 ,  池田 義典 ,  小川 博生 ,  加藤 早苗 ,  石田 耕治 ,  森田 慶子 ,  各務 幸樹 ,  根木 義明 ,  新庄 孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-099948
公開番号（公開出願番号）：特開2013-228526
出願日： 2012年04月25日
公開日（公表日）： 2013年11月07日
要約：
【課題】本発明の目的は、より高い感度を有し、表面硬度、耐溶媒性、耐熱性及び電圧保持率に優れる表示素子用層間絶縁膜を形成することができるポジ型感放射線性組成物、これを用いて形成される表示素子用層間絶縁膜及びその形成方法を提供することである。【解決手段】本発明は、[A]酸解離性基を含む構造単位(I)、重合性基を含む構造単位(II)及び下記式(1)で表される構造単位(III)を有する重合体、並びに[B]感放射線性酸発生剤を含有するポジ型感放射線性組成物である。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
[A]酸解離性基を含む構造単位(I)、重合性基を含む構造単位(II)及び下記式(1)で表される構造単位(III)を有する重合体、並びに [B]感放射線性酸発生剤 を含有するポジ型感放射線性組成物。
IPC (5件)：
G03F 7/039 ,  G03F 7/004 ,  G03F 7/38 ,  C08F 220/12 ,  H01L 21/027
FI (5件)：
G03F7/039 601 ,  G03F7/004 501 ,  G03F7/38 ,  C08F220/12 ,  H01L21/30 502R
Fターム (57件)：
2H096AA27 ,  2H096BA11 ,  2H096EA02 ,  2H096GA08 ,  2H096HA01 ,  2H096JA04 ,  2H125AC32 ,  2H125AC33 ,  2H125AC35 ,  2H125AC36 ,  2H125AC58 ,  2H125AC63 ,  2H125AC72 ,  2H125AE13P ,  2H125AF21P ,  2H125AF35P ,  2H125AF53P ,  2H125AH07 ,  2H125AJ14X ,  2H125AJ63X ,  2H125AJ64X ,  2H125AM66P ,  2H125AM86P ,  2H125AN36P ,  2H125AN85P ,  2H125BA05P ,  2H125BA26P ,  2H125BA33P ,  2H125CA21 ,  2H125CB02 ,  2H125CC03 ,  2H125CC15 ,  2H125CD08P ,  2H125CD36 ,  4J100AB07P ,  4J100AJ02Q ,  4J100AL03Q ,  4J100AL05R ,  4J100AL08P ,  4J100AL08R ,  4J100AL09Q ,  4J100AL10Q ,  4J100BA02P ,  4J100BA04P ,  4J100BA05P ,  4J100BA06P ,  4J100BC04P ,  4J100BC09R ,  4J100BC27P ,  4J100BC43P ,  4J100BC53P ,  4J100BC54Q ,  4J100CA03 ,  4J100CA05 ,  4J100CA06 ,  4J100DA01 ,  4J100JA38
引用特許：
審査官引用 (5件)
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