特許

J-GLOBAL ID：201303059489832863

感光性樹脂組成物、硬化膜の製造方法、硬化膜、有機EL表示装置および液晶表示装置

発明者： 米澤 裕之 ,  安藤 豪
出願人/特許権者： 富士フイルム株式会社
代理人 (1件)： 特許業務法人特許事務所サイクス
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-031351
公開番号（公開出願番号）：特開2013-167781
出願日： 2012年02月16日
公開日（公表日）： 2013年08月29日
要約：

【課題】 感度が高くおよび低誘電率の感光性樹脂組成物の提供。【解決手段】(A)下記(1)および(2)の少なくとも一方を満たす重合体成分、(1)(a1)酸基が酸分解性基で保護された残基を有する構成単位、および(a2)架橋性基を有する構成単位を有する重合体、(2)(a1)酸基が酸分解性基で保護された残基を有する構成単位を有する重合体、および(a2)架橋性基を有する構成単位を有する重合体(B)光酸発生剤、(C)フッ素含有化合物および(D)溶剤を含有する感光性樹脂組成物であって、上記(C)フッ素含有化合物が、ヒドロキシフェニル基、ヒドロキシアルキル基、エポキシ基および酸無水物基の少なくとも1つ有し、かつ、分子量が100〜1000である、感光性樹脂組成物。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

(A)下記(1)および(2)の少なくとも一方を満たす重合体成分、 (1)(a1)酸基が酸分解性基で保護された残基を有する構成単位、および(a2)架橋性基を有する構成単位を有する重合体、 (2)(a1)酸基が酸分解性基で保護された残基を有する構成単位を有する重合体、および(a2)架橋性基を有する構成単位を有する重合体、 (B)光酸発生剤、 (C)フッ素含有化合物、および、 (D)溶剤 を含有する感光性樹脂組成物であって、 上記(C)フッ素含有化合物が、ヒドロキシフェニル基、ヒドロキシアルキル基、エポキシ基および酸無水物基の少なくとも1つ有し、かつ、分子量が100〜1000である、感光性樹脂組成物。

IPC (8件)：

G03F 7/039 ,  G03F 7/004 ,  C08F 220/26 ,  H05B 33/22 ,  H05B 33/10 ,  H05B 33/02 ,  H01L 51/50 ,  G02F 1/133

FI (9件)：

G03F7/039 601 ,  G03F7/004 503A ,  G03F7/004 501 ,  C08F220/26 ,  H05B33/22 Z ,  H05B33/10 ,  H05B33/02 ,  H05B33/14 A ,  G02F1/1333 505

Fターム (94件)：

2H125AC23 ,  2H125AC33 ,  2H125AE03P ,  2H125AE06P ,  2H125AE13P ,  2H125AE14P ,  2H125AE18P ,  2H125AF17P ,  2H125AF38P ,  2H125AF52P ,  2H125AF53P ,  2H125AH05 ,  2H125AH06 ,  2H125AH07 ,  2H125AJ04Y ,  2H125AJ14X ,  2H125AJ14Y ,  2H125AJ52X ,  2H125AJ53Y ,  2H125AJ63X ,  2H125AJ63Y ,  2H125AJ64X ,  2H125AJ64Y ,  2H125AM26P ,  2H125AM27P ,  2H125AM66P ,  2H125AM67P ,  2H125AM86P ,  2H125AN02P ,  2H125AN05P ,  2H125AN11P ,  2H125AN23P ,  2H125AN24P ,  2H125AN29P ,  2H125AN31P ,  2H125AN33P ,  2H125AN36P ,  2H125AN41P ,  2H125AN50P ,  2H125AN82P ,  2H125AN86P ,  2H125BA05P ,  2H125BA09P ,  2H125BA11P ,  2H125BA22P ,  2H125BA26P ,  2H125BA32P ,  2H125BA33P ,  2H125BA34P ,  2H125CA12 ,  2H125CA22 ,  2H125CA24 ,  2H125CB05 ,  2H125CB06 ,  2H125CC03 ,  2H125CC15 ,  2H190HB15 ,  2H190HC05 ,  2H190HC11 ,  2H190HC13 ,  2H190HD03 ,  2H190HD07 ,  2H190LA01 ,  2H190LA02 ,  2H190LA04 ,  3K107AA01 ,  3K107BB01 ,  3K107CC02 ,  3K107CC14 ,  3K107CC45 ,  3K107DD15 ,  3K107DD90 ,  3K107DD97 ,  3K107GG06 ,  3K107GG11 ,  3K107GG28 ,  4J100AB02T ,  4J100AJ02Q ,  4J100AL08P ,  4J100AL08R ,  4J100AL08S ,  4J100AL09S ,  4J100AL10R ,  4J100BA02P ,  4J100BA04P ,  4J100BC04P ,  4J100BC12S ,  4J100BC53R ,  4J100CA03 ,  4J100CA06 ,  4J100DA01 ,  4J100FA03 ,  4J100FA19 ,  4J100JA38

引用特許：

審査官引用 (5件)

• 感光性樹脂組成物、硬化膜、硬化膜の形成方法、有機EL表示装置、及び、液晶表示装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2011-053087   出願人：富士フイルム株式会社
• ポジ型感放射線性組成物、層間絶縁膜及びその形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2010-104321   出願人：JSR株式会社
• 感放射線性樹脂組成物、層間絶縁膜およびマイクロレンズ、ならびにそれらの形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-055176   出願人：JSR株式会社
• ポジ型レジスト組成物及びパターン形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2011-233564   出願人：信越化学工業株式会社
• ポジ型レジスト組成物及びそれを用いたパターン形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-314218   出願人：富士写真フイルム株式会社