特許
J-GLOBAL ID：201303093619215679
化学気相堆積のための装置及び方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
園田 吉隆
, 小林 義教
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-226073
公開番号（公開出願番号）：特開2013-040410
出願日： 2012年10月11日
公開日（公表日）： 2013年02月28日
要約：
【課題】液体前駆体物質を気化形成するための方法及び装置の提供。【解決手段】この方法又は装置は、例えば、基板上に膜を形成するための化学気相堆積装置又はシステムの部分として使用することができる。この方法及び装置は、液体前駆体211及び拡散素子232を含むための容器218を準備することを含み、その拡散素子は、その容器の内側断面寸法に実質的に等しい外側断面寸法を有している。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
ガス入口ポートを有する化学気相堆積チャンバと、
上記チャンバの入口ポートに接続された出口ポートを有する液体反応物質気化装置と、
を備え、
該気化装置は、上方部分、下方部分、内側部表面及び底部表面を有する容器を含み、該容器は液体反応物質を含み、上記内側部表面の間の間隔は、内部容器直径を定めており、更に、キャリヤガス源に接続された入口ポートと、上記容器の内部直径と実質的に等しい外部直径を有し且つ液体反応物質のレベルより下方で上記容器の上記下方部分へ挿入され、上記容器の底部との間にプレナムを画成する多孔性部材と、上記ガス入口ポート及び上記多孔性部材を通して延びるガス分配導管と、を含む化学気相堆積装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (6件)：
4K030AA10
, 4K030EA01
, 4K030KA45
, 4K030LA15
, 5F045AA04
, 5F045EE03
