特許

J-GLOBAL ID：201303094046734591

試料分析装置及び試料分析プログラム

発明者： 清水 智也
出願人/特許権者： 株式会社堀場製作所
代理人 (3件)： 西村 竜平 ,  佐藤 明子 ,  齊藤 真大
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-022676
公開番号（公開出願番号）：特開2013-217903
出願日： 2013年02月07日
公開日（公表日）： 2013年10月24日
要約：

【課題】試料に存在する構造欠陥を検出するだけでなく、当該構造欠陥に起因して生じている物理情報を測定することによって、当該構造欠陥がデバイス性能を劣化させる欠陥であるか否かを判断できるようにする等といったように、構造欠陥検出と物理情報測定とを組み合わせて試料を効率良く分析する。【解決手段】試料Wの構造欠陥KKを検出する構造欠陥検出手段2と、構造欠陥検出手段2により検出された構造欠陥KKのうち物理情報を測定すべき構造欠陥KKを欠陥情報に基づいて設定する構造欠陥設定手段と、構造欠陥設定手段により設定された構造欠陥を含む欠陥領域KRの物理情報を測定する物理情報測定手段3とを備える。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

試料の構造欠陥を検出する構造欠陥検出手段と、 前記構造欠陥検出手段により検出された構造欠陥のうち物理情報を測定すべき構造欠陥を、前記構造欠陥の欠陥情報に基づいて設定する構造欠陥設定手段と、 前記構造欠陥設定手段により設定された構造欠陥を含む欠陥領域の物理情報を測定する物理情報測定手段とを備える試料分析装置。

IPC (3件)：

G01N 21/88 ,  G01N 21/62 ,  H01L 21/66

FI (3件)：

G01N21/88 J ,  G01N21/62 A ,  H01L21/66 N

Fターム (30件)：

2G043AA03 ,  2G043CA07 ,  2G043DA05 ,  2G043EA01 ,  2G043EA03 ,  2G043EA06 ,  2G043EA14 ,  2G043FA01 ,  2G043KA01 ,  2G043KA02 ,  2G043KA03 ,  2G043KA09 ,  2G051AA51 ,  2G051AB02 ,  2G051AC04 ,  2G051BA10 ,  2G051CB05 ,  2G051CB10 ,  2G051DA07 ,  2G051EB01 ,  4M106AA01 ,  4M106BA02 ,  4M106BA04 ,  4M106BA05 ,  4M106BA20 ,  4M106CA18 ,  4M106CA19 ,  4M106CB19 ,  4M106CB30 ,  4M106DJ20

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 太陽電池の検査方法および検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2010-090110   出願人：日清紡メカトロニクス株式会社
• 欠陥観察方法及び欠陥観察装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-155215   出願人：レーザーテック株式会社, 信越半導体株式会社