特許
J-GLOBAL ID：201303094210690169
画像表示装置の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (7件)：
河野 哲
, 中村 誠
, 蔵田 昌俊
, 峰 隆司
, 福原 淑弘
, 村松 貞男
, 橋本 良郎
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-099967
公開番号（公開出願番号）：特開2002-297057
特許番号：特許第4795555号
出願日： 2001年03月30日
公開日（公表日）： 2002年10月09日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 表示部と額縁部を有するアレイ基板を備え、
前記表示部は、複数の配線と、前記配線と接続された複数の薄膜トランジスタとを備え、
前記額縁部は、前記薄膜トランジスタを駆動する駆動回路を備えた画像表示装置の製造方法において、前記配線を形成するにあたって、
基板上に第1配線材料からなる第1膜を成膜する工程と、
前記第1膜を異方性エッチングして第1配線層を形成する工程と、
前記第1配線層を含む基板上に前記第1配線材料に比べ微細加工が困難な且つ低抵抗な第2配線材料からなる第2膜を成膜する工程と、
前記第2膜を等方性エッチングして前記第1配線層上に第2配線層を形成する工程と
を備えたことを特徴とする画像表示装置の製造方法。
IPC (8件)：
G09F 9/30 ( 200 6.01)
, G02F 1/1343 ( 200 6.01)
, G02F 1/1368 ( 200 6.01)
, H01L 21/28 ( 200 6.01)
, H01L 21/3205 ( 200 6.01)
, H01L 23/52 ( 200 6.01)
, H01L 21/768 ( 200 6.01)
, H01L 29/786 ( 200 6.01)
G09F 9/30 330 Z
, G09F 9/30 338
, G02F 1/134
, G02F 1/136
, H01L 21/28 E
, H01L 21/88 F
, H01L 21/88 M
, H01L 21/90 A
, H01L 29/78 612 C
