特許
J-GLOBAL ID：201303094540713637
透過イメージセンシングのためのデバイスおよび方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
稲葉 良幸
, 大貫 敏史
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-237385
公開番号（公開出願番号）：特開2013-048276
出願日： 2012年10月29日
公開日（公表日）： 2013年03月07日
要約：
【課題】リソグラフィ露光装置内で空間像を検知するための透過イメージセンシングのためのデバイスを提供する。【解決手段】デバイスは、オブジェクトマークの空間像を投影システムのイメージ側に形成する投影システムを備える。このデバイスはさらに、空間像の少なくとも一部に対応するフィーチャを有するスリットパターンを含むディテクタを備える。スリットパターンは空間像に露光される。ディテクタはさらに、スリットパターンにより送られた検出放射を検出する。ここで、d<0.85・λ/NAであって、 dはスリットパターンの最小フィーチャの寸法を表し、 λは意図する検出放射の波長を表し、 NAは1より大きく、イメージ側の開口数を表す。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
リソグラフィ露光装置にて空間像を検知する透過イメージセンシングのためのデバイス(TIS、TIS1、TIS2)であって、
オブジェクトマーク(M1、M2、G0)の空間像を投影システムのイメージ側に形成する投影システムであって、前記イメージ側が1より大きい開口数を有する、投影システムと、
前記空間像の少なくとも一部に対応するフィーチャ(D)を持つスリットパターン(G1)を含むディテクタであって、前記スリットパターンが空間像に露光され、前記ディテクタがさらに前記スリットパターンにより送られた検出放射(PB)を検出する、ディテクタとを備え、
ここで、d<0.85・λ/NAであって、
dは前記スリットパターンの最小フィーチャの寸法を表し、
λは前記検出放射の波長を表し、
NAは前記イメージ側の開口数を表す、
デバイス。
IPC (2件)：
FI (3件)：
H01L21/30 516C
, H01L21/30 515D
, G03F7/20 521
5F146BA03
, 5F146BA11
, 5F146CC01
, 5F146DA01
, 5F146DA13
, 5F146DA34
, 5F146DB01
, 5F146DC12
出願人引用 (8件)
全件表示
審査官引用 (8件)
全件表示
前のページに戻る
