特許
J-GLOBAL ID：201303094781349081
インクジェットヘッドの製造方法およびインクジェットヘッド
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (17件)：
蔵田 昌俊
, 高倉 成男
, 河野 哲
, 中村 誠
, 福原 淑弘
, 峰 隆司
, 白根 俊郎
, 村松 貞男
, 野河 信久
, 幸長 保次郎
, 河野 直樹
, 砂川 克
, 井関 守三
, 佐藤 立志
, 岡田 貴志
, 堀内 美保子
, 竹内 将訓
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-181353
公開番号（公開出願番号）：特開2013-043319
出願日： 2011年08月23日
公開日（公表日）： 2013年03月04日
要約：
【課題】パターニング欠陥を抑制できるインクジェットヘッドの製造方法を提供する。【解決手段】一つの実施の形態に係るインクジェットヘッドの製造方法は、第1の部分と前記第1の部分より滑らかな第2の部分とを有する基材の表面と、前記基材に取り付けられた駆動素子の表面と、にそれぞれ金属膜を形成し、レーザービームによって前記基材の第1の部分に形成された前記金属膜を削り、前記第1の部分に形成された前記金属膜を削るレーザービームと異なるパワーのレーザービームによって前記基材の第2の部分に形成された前記金属膜を削ることで導体パターンを形成する。【選択図】 図4
請求項（抜粋）：
第1の部分と前記第1の部分より滑らかな第2の部分とを有する基材の表面と、前記基材に取り付けられた駆動素子の表面と、にそれぞれ金属膜を形成し、
レーザービームによって前記基材の第1の部分に形成された前記金属膜を削り、前記第1の部分に形成された前記金属膜を削るレーザービームと異なるパワーのレーザービームによって前記基材の第2の部分に形成された前記金属膜を削ることで導体パターンを形成する
ことを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (2件)：
引用特許：
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