特許
J-GLOBAL ID：201303094849643765
プラズマチャンバーのアーク検出方法および装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
▲吉▼川 俊雄
, 市川 寛奈
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-036464
公開番号（公開出願番号）：特開2013-179048
出願日： 2013年02月26日
公開日（公表日）： 2013年09月09日
要約：
【課題】プラズマチャンバーの内部で発生するアークに対し、より正確に感知できるプラズマチャンバーのアーク検出方法および装置を提供する。【解決手段】 電源供給源からプラズマチャンバーに供給される無線周波数電力の電圧値を検出する電圧センサーと、前記無線周波数電力の電流値を検出する電流センサーと、前記電圧センサーおよび電流センサーによって検出された電圧値および電流値を受け入れ、電圧電流比値を演算する電圧電流比検出回路および前記電圧電流比検出回路から演算された電圧電流比値に基づき、前記プラズマチャンバーの内部でアーク発生の可否を判断する制御部を含む。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
電源供給源からプラズマチャンバーに供給される無線周波数電力の電圧値を検出する電圧センサーと、前記無線周波数電力の電流値を検出する電流センサーと、前記電圧センサーおよび電流センサーによって検出された電圧値および電流値を受け入れ、電圧電流比値を演算する電圧電流比検出回路および前記電圧電流比検出回路で演算された電圧電流比値に基づき前記プラズマチャンバーの内部でアーク発生の可否を判断する制御部を含むことを特徴とするプラズマチャンバーのアーク検出装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
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