特許
J-GLOBAL ID：201303095204361524
インプリント装置、それを用いた物品の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高岡 亮一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-194584
公開番号（公開出願番号）：特開2013-058517
出願日： 2011年09月07日
公開日（公表日）： 2013年03月28日
要約：
【課題】スループットの向上に有利なインプリント装置を提供する。【解決手段】このインプリント装置1は、型6を引き付けて保持する保持機構11を有する型保持部3と、基板10を保持する基板保持部4と、保持機構11に保持された状態の型6を、該型6に接する空間13の圧力を調整することで基板10に向かい凸形に変形させる圧力調整部15と、凸形に変形した型6と、未硬化樹脂16との押し付け動作中に、型6の姿勢を変化させることで型6と未硬化樹脂16とが接触する接触領域24の位置を移動可能とする駆動部18と、接触領域24の状態を示す画像情報を取得する測定部23と、画像情報に基づいて接触領域24の図心25の平面座標を算出し、該図心25の平面座標の位置が、画像情報に基づいて算出した、または予め取得した基板10上のパターン形成領域の図心26の平面座標の位置に向かうように駆動部18の動作を制御する制御部5と、を有する。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
基板上の未硬化樹脂を型により成形して硬化させて、前記基板上に硬化した樹脂のパターンを形成するインプリント装置であって、
前記型を引き付けて保持する保持機構を有する型保持部と、
前記基板を保持する基板保持部と、
前記保持機構に保持された状態の前記型を、該型に接する空間の圧力を調整することで前記基板に向かい凸形に変形させる圧力調整部と、
前記凸形に変形した前記型と、前記未硬化樹脂との押し付け動作中に、前記型の姿勢を変化させることで前記型と前記未硬化樹脂とが接触する接触領域の位置を移動可能とする駆動部と、
前記接触領域の状態を示す画像情報を取得する測定部と、
前記画像情報に基づいて前記接触領域の図心の平面座標を算出し、該図心の平面座標の位置が、前記画像情報に基づいて算出した、または予め取得した前記基板上のパターン形成領域の図心の平面座標の位置に向かうように前記駆動部の動作を制御する制御部と、
を有することを特徴とするインプリント装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L21/30 502D
, B29C59/02 Z
4F209AA36
, 4F209AF01
, 4F209AG05
, 4F209AH33
, 4F209AH73
, 4F209AP06
, 4F209AQ01
, 4F209AR02
, 4F209AR07
, 4F209PA02
, 4F209PB01
, 4F209PJ26
, 4F209PN06
, 4F209PN09
, 4F209PN13
, 5F146AA31
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (2件)
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