特許

J-GLOBAL ID：201303099305248309

薄膜蒸着用マスクフレームアセンブリー

発明者： 姜 澤 ▲教▼
出願人/特許権者： 三星ディスプレイ株式會社
代理人 (4件)： 松永 宣行 ,  辻 徹二 ,  三好 秀和 ,  伊藤 正和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-121818
公開番号（公開出願番号）：特開2013-004520
出願日： 2012年05月29日
公開日（公表日）： 2013年01月07日
要約：

【課題】薄膜蒸着用マスクフレームアセンブリーを提供する。【解決手段】開口部が形成され、開口部を取り囲むマスクフレーム110と、マスクフレーム110上に結合されるマスク120と、マスク120を支持する少なくとも一つの支持台130と、支持台130を固定する複数の固定部140と、を備える薄膜蒸着用マスクフレームアセンブリー。これにより、蒸着用基板のたるみによる蒸着用基板の割れ現象を防止できる。【選択図】図7

請求項（抜粋）：

開口部が形成され、前記開口部を取り囲むマスクフレームと、 前記マスクフレーム上に結合されるマスクと、 前記マスクを支持する少なくとも一つの支持台と、 前記支持台を固定する複数の固定部と、を備える薄膜蒸着用マスクフレームアセンブリー。

IPC (3件)：

H05B 33/10 ,  C23C 14/04 ,  H01L 51/50

FI (3件)：

H05B33/10 ,  C23C14/04 A ,  H05B33/14 A

Fターム (14件)：

3K107AA01 ,  3K107BB01 ,  3K107CC33 ,  3K107CC42 ,  3K107CC45 ,  3K107FF15 ,  3K107GG04 ,  3K107GG32 ,  3K107GG33 ,  4K029AA24 ,  4K029CA01 ,  4K029HA02 ,  4K029HA03 ,  4K029HA04

引用特許：

審査官引用 (2件)

• マスク組立体及びこれを利用した平板表示装置用蒸着装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2009-188441   出願人：三星モバイルディスプレイ株式會社
• 多面付けマスク装置及びその組立方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-132249   出願人：大日本印刷株式会社