特許
J-GLOBAL ID：201003002068129884
マスク組立体及びこれを利用した平板表示装置用蒸着装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
三好 秀和
, 伊藤 正和
, 原 裕子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-188441
公開番号（公開出願番号）：特開2010-180476
出願日： 2009年08月17日
公開日（公表日）： 2010年08月19日
要約：
【課題】蒸着工程時基板の重量によりマスク組立体のパターンが変形されることを防止して、蒸着精密度を向上させることができるマスク組立体及びこれを利用した平板表示装置用蒸着装置を提供する。【解決手段】開口部120及び開口部を囲んだフレーム110を含むフレームマスク100と;一つまたは複数のパターンが形成されるパターン部及び引張されてフレームと接合(溶接、半田付け、ロウ付け等)される接合部を含むパターンマスク200;及び開口部を横切って、パターンマスクと接合(溶接、半田付け、ロウ付け等)される支持台300を含むマスク組立体に関する。チャンバーと;チャンバーの下側に位置する蒸着源;及び蒸着源上に位置し、基板を支持するためのマスク組立体を含むことを特徴とする平板表示装置用蒸着装置に関する。【選択図】図1A
請求項（抜粋）：
開口部及び前記開口部を囲んだフレームを含むフレームマスクと;
一つまたは複数のパターンが形成されるパターン部及び前記フレームと接合(溶接、半田付け、ロウ付け等)される接合(溶接、半田付け、ロウ付け等)部を含むパターンマスク;及び
前記開口部を横切って、前記パターンマスクと接合(溶接、半田付け、ロウ付け等)される支持台を含むことを特徴とするマスク組立体。
IPC (4件)：
C23C 14/04
, C23C 14/24
, H05B 33/10
, H01L 51/50
C23C14/04 A
, C23C14/24 G
, H05B33/10
, H05B33/14 A
3K107AA01
, 3K107BB01
, 3K107CC35
, 3K107CC45
, 3K107GG04
, 3K107GG32
, 3K107GG33
, 4K029AA09
, 4K029AA24
, 4K029BA62
, 4K029BB03
, 4K029CA01
, 4K029DB06
, 4K029HA02
, 4K029HA03
