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J-GLOBAL ID：201402202181146897   整理番号：14A0716143

二段階ソフトリソグラフィーを用いる高機械的安定性を有するナノ/マイクロフルイディクス装置の迅速製造法

Rapid fabrication technique of nano/microfluidic device with high mechanical stability utilizing two-step soft lithography

著者 (4件)： MOGI Katsuo (Mechanical and Control Engineering, Tokyo Inst. of Technol., JPN) ,  SUGII Yasuhiko (School of Engineering, The Univ. of Tokyo, JPN) ,  YAMAMOTO Takatoki (Mechanical and Control Engineering, Tokyo Inst. of Technol., JPN) ,  FUJII Teruo (Inst. of Industrial Sci., The Univ. of Tokyo, JPN)
資料名： Sensors and Actuators. B. Chemical  (Sensors and Actuators. B. Chemical)
巻： 201  ページ： 407-412  発行年： 2014年10月01日 
JST資料番号： T0967A  ISSN： 0925-4005  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 二段階ソフトリソグラフィーを用い,高い機械及び熱安定性,良好な化学耐性及び複製精度を有する剛体ナノ/マイクロフルイディクス装置を実現する迅速製造法を確立した。提案の手法は,軟材料から作製した型マスタを用いた入口及び出口を含む剛体ナノ/マイクロフルイディクス装置を便利かつ安価に製作できる。硬材料の代わりに熱硬化性エポキシ樹脂から作製した装置は,高アスペクト比微細構造にも高い複製精度を示し,0.4MPa超の圧力で十分な機械安定性を示した。高アスペクト比,高深度,及び低表面粗さのナドットアレイ,ウエル構造,ナノ/マイクロチャネル,及び他の精密構造のようなナノ/マイクロフルイディクス装置を実現できる。Copyright 2014 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *チャネル ,  フルイディクス ,  *リソグラフィー ,  *微細加工 ,  安定性 ,  剛体 ,  生産方式 ,  型 ,  熱硬化性プラスチック ,  エポキシ樹脂 ,  ポリジメチルシロキサン ,  複製 ,  精度 ,  アスペクト比 ,  流体素子 ,  工程 ,  *マイクロチャネル ,  マイクロフルイディクス ,  ナノチャネル ,  機械的安定性 ,  高アスペクト比 ,  高精度
準シソーラス用語： ソフトリソグラフィー ,  二段階過程 ,  製造法

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (5件)： 段階 ,  ソフトリソグラフィー ,  機械的安定性 ,  マイクロフルイディクス ,  製造法