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J-GLOBAL ID:201402211964011845   整理番号:14A0706480

自己整合カーボンナノウォールに関するRamanスペクトルマッピング

Raman spectral mapping of self-aligned carbon nanowalls
著者 (10件):
資料名:
巻: 53  号: 5S1  ページ: 05FD10.1-05FD10.6  発行年: 2014年05月 
JST資料番号: G0520B  ISSN: 0021-4922  CODEN: JJAPB6  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: イギリス (GBR)  言語: 英語 (EN)
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カーボンナノウォール(CNW)は少数層グラフェンからなるナノカーボンマテリアルであり,グラフェンと類似の特性を示す可能性がある。著者らは,グラフォエピタクシーを用いたCNWの生成に対して,電界効果トランジスタの構造的製造に利用できる自己整合過程を開発した。著者らは,Ramanスペクトルマッピングを用いて,自己整合過程の機構を調べた。成長の温度依存性およびRamanスペクトルの利用は,幾何学的な触媒効果および自己整合領域に対する欠陥の導入の観測を可能にした。同じ効果を,蒸着の時間依存性を解析した際に観測した。初期成長に対応する低温成長に対しては,CNWフレークの成長を,処理パターンの端部においてだけ観測できた。一方,自己整合過程はフレークの形状を変化させ,したがって,粒構造に影響を及ぼしキャリア散乱を誘起することを記した。グラフォエピタクシーの利用は,したがって,初期成長を支援し,次に,主にCNW薄膜に欠陥を誘起することを示した。最後に,これら欠陥は,過成長によって養生されることを記した。(翻訳著者抄録)
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分類 (1件):
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半導体薄膜 
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