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J-GLOBAL ID：201402220089188123   整理番号：14A1184644

重力キャンセラを持つ6-DOF高精度走査ステージの設計と制御

Design and Control of 6-DOF High-Precision Scan Stage with Gravity Canceller

著者 (5件)： OHNISHI Wataru (Univ. Tokyo, Chiba, JPN) ,  FUJIMOTO Hiroshi (Univ. Tokyo, Chiba, JPN) ,  SAKATA Koichi (Nikon Corp., Yokohama, JPN) ,  SUZUKI Kazuhiro (Nikon Corp., Yokohama, JPN) ,  SAIKI Kazuaki (Nikon Corp., Yokohama, JPN)
資料名： Proceedings of the American Control Conference  (Proceedings of the American Control Conference)
巻： 2014 Vol.2  ページ： 997-1002  発行年： 2014年 
JST資料番号： B0982A  ISSN： 0743-1619  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 高精度走査ステージは,集積回路,液晶ディスプレイのような電子デバイスのための製造プロセスにおいて使用される。本論文では,重力キャンセラを持つ実験的な6自由度(6-DOF)高精度ステージを設計し,作製した。この6-DOFステージは,微動ステージと粗動ステージから構成されている。重力キャンセラは,微動ステージの重力を補償し,摩擦なしで微動ステージをサポートする。この構造は,微動ステージの近くに発生する熱を減らすことができる。姿勢制御については,回転運動の非線形性および結合は,姿勢制御性能を劣化させる可能性がある。筆者らの過去の論文において提案された多入力多出力(MIMO)フィードフォワード姿勢コントローラを新しい実験ステージに適用した。実験は,新しい実験的な6-DOFステージを使用することによって姿勢コントローラの有効性を確認するために行われた。

シソーラス用語： *重力 ,  *精度 ,  *自由度 ,  姿勢制御 ,  フィードフォワード制御 ,  制御装置 ,  回転 ,  *高精度 ,  長期管理薬
準シソーラス用語： コントローラ ,  回転運動

分類 (2件)： システム設計・解析  (IA02030D) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (4件)： 重力 ,  走査 ,  ステージ ,  設計