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J-GLOBAL ID：201402221899441255   整理番号：14A0980686

MEMS容量性大規模歪みセンサの設計と開発

Design and Development of MEMS Capacitive Large-Scale Strain Sensors
著者 (5件)：
DUAN Chengli

DUAN Chengli について

(Univ. of Electronic Sci. and Technol. of China (UESTC), Chengdu, CHN)

Univ. of Electronic Sci. and Technol. of China (UESTC), Chengdu, CHN について

, 
JIANG Yadong

JIANG Yadong について

(Univ. of Electronic Sci. and Technol. of China (UESTC), Chengdu, CHN)

Univ. of Electronic Sci. and Technol. of China (UESTC), Chengdu, CHN について

, 
CHEN Lijie

CHEN Lijie について

(China Electronics Technol. Group Corp., Harbin, CHN)

China Electronics Technol. Group Corp., Harbin, CHN について

, 
TAI Huiling

TAI Huiling について

(Univ. of Electronic Sci. and Technol. of China (UESTC), Chengdu, CHN)

Univ. of Electronic Sci. and Technol. of China (UESTC), Chengdu, CHN について

, 
HE Yingfei

HE Yingfei について

(Univ. of Electronic Sci. and Technol. of China (UESTC), Chengdu, CHN)

Univ. of Electronic Sci. and Technol. of China (UESTC), Chengdu, CHN について


資料名：
Integrated Ferroelectrics  (Integrated Ferroelectrics)

Integrated Ferroelectrics について


巻： 147  ページ： 123/661-130/668  発行年： 2013年 
JST資料番号： W0539A  ISSN： 1058-4587  CODEN： IFEREU  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)
タイトルに関連する用語 (6件)：
タイトルに関連する用語
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MEMS

MEMS について

, 
容量性

容量性 について

, 
大規模

大規模 について

, 
歪みセンサ

歪みセンサ について

, 
設計

設計 について

, 
開発

開発 について


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