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J-GLOBAL ID：201402225374512971   整理番号：14A0984342

マイクロ波電子サイクロトロン共鳴-プラズマ化学蒸着により作製したホウ素ドープアモルファス窒化炭素薄膜の構造的,光学的性質

Structural and optical properties of boron-doped amorphous carbon nitride thin films synthesized by microwave electron cyclotron resonance-plasma chemical vapor deposition

著者 (8件)： SAWAHATA Junji (Ibaraki National Coll. of Technol., Ibaraki, JPN) ,  TERAMOTO Michihito (Tsuyama National Coll. of Technol., Okayama, JPN) ,  NAKAMURA Shigeyuki (Tsuyama National Coll. of Technol., Okayama, JPN) ,  KAMETOMO Kenta (Okayama Univ. Sci., Okayama, JPN) ,  SATAKE Masaki (Ryukoku Univ., Otsu, JPN) ,  YAMAMOTO Shin-ichi (Ryukoku Univ., Otsu, JPN) ,  ITOH Kunio (Ryukoku Univ., Otsu, JPN) ,  TAKARABE Kenichi (Okayama Univ. Sci., Okayama, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics  (Japanese Journal of Applied Physics)
巻： 53  号： 7  ページ： 071002.1-071002.5  発行年： 2014年07月 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  CODEN： JJAPB6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 10at.%以下のホウ素(B)成分を持つBドープアモルファス窒化炭素(a-CN_x)薄膜の構造的,光学的性質を調べた。基板温度とソース気体(BCl₃/CH₄/N₂/Ar)の流量比を変えて,電子サイクロトロン共鳴(ECR)-プラズマ化学蒸着(CVD)により,Bドープa-CN_x薄膜を作製した。基板温度が上昇すると,B成分の増加とCl成分の減少が見られた。C-Nのsp³結合成分が減少し,B成分が増すと,Bドープa-CN_x薄膜のTaucエネルギーギャップが増大した。フォトルミネセンス(PL)ピーク位置は青方偏移を示し,B成分の増大にしたがって,積分PL強度が増加する傾向が見られた。PLの結果は,PL活性B関連sp²C-C結合クラスタ密度が増加したことを示している。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： マイクロ波 ,  電子サイクロトロン共鳴加熱 ,  プラズマCVD ,  ドーピング ,  非晶質 ,  *炭素化合物 ,  *窒化物 ,  *光学的性質 ,  *薄膜 ,  光ルミネセンス ,  青方偏移
準シソーラス用語： プラズマ化学蒸着 ,  ホウ素ドーピング ,  アモルファス ,  *窒化炭素 ,  フォトルミネセンス

分類 (1件)： 無機化合物のルミネセンス  (BM08093J)

引用文献 (30件)：

• A. Y. Liu and M. L. Cohen, Science 245, 841 (1989).
• A. Y. Liu and M. L. Cohen, Phys. Rev. B 41, 10727 (1990).
• D. Teter and R. J. Hemley, Science 271, 53 (1996).
• R. Reyes, C. Legnani, P. M. Ribeiro Pinto, and M. Cremona, Appl. Phys. Lett. 82, 4017 (2003).
• Y. Iwano, T. Kittaka, H. Tabuchi, M. Soukawa, S. Kunitsugu, K. Takarabe, and K. Itoh, Jpn. J. Appl. Phys. 47, 7842 (2008).

タイトルに関連する用語 (10件)： マイクロ波 ,  電子サイクロトロン共鳴 ,  プラズマ化学蒸着 ,  作製 ,  ホウ素 ,  ドープ ,  アモルファス ,  窒化 ,  炭素薄膜 ,  光学的性質