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J-GLOBAL ID：201402227946614706   整理番号：14A0805956

全角度散乱特性化に基づくマイクロガラスレンズ金型の表面検査

Surface Inspection of Micro Glass Lens Mold Based on Total Angle Resolved Scattering Characterization

著者 (4件)： HAYASHI Terutake (Osaka Univ., Osaka, JPN) ,  TAKAYA Yasuhiro (Osaka Univ., Osaka, JPN) ,  MOTOISHI Naohiro (Osaka Univ., Osaka, JPN) ,  NAKATSUKA Yuki (Osaka Univ., Osaka, JPN)
資料名： International Journal of Automation Technology  (International Journal of Automation Technology)
巻： 4  号： 5  ページ： 432-438  発行年： 2010年09月05日 
JST資料番号： L0997B  ISSN： 1881-7629  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： レンズ金型表面の様相は,レンズショットの数が増加するに従って,レンズ生産プロセスで発生するいくつかの欠陥により,悪化した。マシンに関する定量的な評価方法がレンズ金型の表面には必要であった。この検討では,著者らは,表面テクスチャを特徴付けて,高品質のレンズを製造するために,欠陥と荒さを引き起こす多様な方向において,散乱した光の三次元検出を可能にする自動化光散乱計測システムを開発した。散乱パターンを使用して,レンズ金型の表面の特性を分類した。本稿は,変動するショット数で球体のレンズ金型を特徴付けるための表面ナノテクスチャの定量的な評価結果を示した。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： 特性 ,  *レンズ ,  *金型 ,  検査 ,  画像 ,  計測 ,  生産プロセス
準シソーラス用語： ガラスレンズ ,  テクスチャ ,  散乱計測 ,  散乱特性 ,  *表面検査

分類 (2件)： 光学器械要素とその材料  (QF05020K) ,  試料技術  (BA02070O)

引用文献 (7件)：

• H. Suzuki et al., “Precision Grinding of Aspherical CVD-SiC Molding Die,” Int. J. of The Japan Society for Precision Engineering, 32(1), pp. 25-30, 1998.
• M. Saeki, T. Kuriyagawa, and K. Syoji, “Machining of Aspherical Molding Dies Utilizing Parallel Grinding Method,” J. Japan Soc. Prec. Eng., 64(4), pp. 619-623, 1998 (in Japanese).
• T. Ha et al., “Size determination of microscratches on silicon oxide wafer surface using scattered light,” Precision engineering, 27(3), pp. 265-272, 2003.
• P. Beckman, “The scattering of electromagnetic waves from rough surfaces,” Pergamon Press, p. 30, 1963.
• J. Elson, J. Rahn, and J. Bennett, “Relationship of the total integrated scattering from multilayer-coated optics to angle of incidence, polarization, correlation length, and roughness cross-correlation properties,” Appl. Opt., 22, pp. 3207-3219, 1983.

タイトルに関連する用語 (4件)： 散乱特性 ,  ガラスレンズ ,  金型 ,  表面検査